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  • 产品名称:PECVD石墨烯薄膜制备系统

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
PECVD石墨烯薄膜制备系统借助13.56MHz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子体的强化学活性,改善反应条件,使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜制备系统设备可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种实验场所。
详情介绍:


    PECVD石墨烯薄膜制备系统

PECVD石墨烯薄膜制备系统


    该PECVD借助13.56MHz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子体的强化学活性,改善反应条件,使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。本设备可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种实验场所。

PECVD石墨烯薄膜制备系统技术参数

多温区加热系统

序号

功能名称

技术要求

01

工作温度

室温~1200℃,长期工作温度1100℃

02

加热区长度

三温区加热,各温区可独立控温,恒温区长度为550

03

控制模式

30段智能PID 多段程序控温

04

控温精度

±1

05

升温速率

0~20℃/min

06

测温元件

3支K型热电偶

07

温控保护

具有超温和断偶保护功能

08

炉管

高纯石英管,能耐长期1100℃工作温度

09

炉管尺寸

石英管外径100mm

10

炉膛结构

开启式

11

炉膛材料

进口纤维,保温性能好,反射率高,温场均匀

12

密封方式

真空不锈钢水冷法兰

13

阀门

KF25挡板阀

14

电源

380V/220V  50Hz

15

温度记录

可以实现温度曲线记录

16

炉壳温度

45℃

单温区加热系统

序号

功能名称

技术要求

01

工作温度

室温~1200℃,长期工作温度1100℃

02

加热区长度

单温区加热,恒温区长度为200mm

03

控制模式

30段智能PID 多段程序控温

04

控温精度

±1

05

升温速率

0~20℃/min

06

测温元件

K型热电偶

07

温控保护

具有超温和断偶保护功能

08

炉管

高纯石英管,能耐长期1100℃工作温度

09

炉管尺寸

石英管外径100mm

10

炉膛结构

开启式

11

炉膛材料

进口纤维,保温性能好,反射率高,温场均匀

12

密封方式

真空不锈钢水冷法兰

13

阀门

KF25挡板阀

14

电源

380V/220V  50Hz

15

温度记录

可实现温度曲线记录

16

炉壳温度

45℃

RF输出系统

序号

功能名称

技术要求

01

功率范围

0~500W连续可调

02

工作频率

13.56MHz+0.005%

03

工作模式

连续输出

04

显示模式

LCD

05

匹配阻抗范围

能够匹配,起辉辉光均匀布满三温区炉管

06

功率稳定度

2W

07

正常工作反射功率

3W

08

蕞大反射功率

70W

09

谐波分量

-50dBc

10

整机效率

≥70%

11

功率因素

≥90%

12

供电电压/频率

单相交流(187V~253V) 频率50/60HZ

13

控制模式

内控/PLC 模拟量/RS232/485 通讯

14

电源保护设置

DC 过流保护,功放过温保护,反射功率保护

15

冷却方式

强制风冷

16

起辉长度

在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光需能布满整个三温区的炉体长度

气体流量控制

序号

功能名称

技术要求

01

四路质子流量计

北京七星华创,质子流量计

02

流量范围

MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm

MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm

分别对应气体 H2、CH4、N2、Ar

03

测量精度

±1.5%F.S.

04

重复精度

±0.2% FS

05

线性精度

±1%F.S.

06

响应时间

≤4sec

07

工作压力

-0.15MPa0.15MPa

08

流量控制

液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制

09

进气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

10

出气接口

可接1/4NPS或外径6mm不锈钢管

11

连接方式

双卡套接头

12

工作温度

545℃

13

气体预混

配气体预混装置

真空要求

序号

功能名称

技术要求

01

真空泵

配置进口或国产真空泵,炉管背景真空达5×10-1 Pa

02

系统漏率

≤1.4×10-3 Pa.L/s

03

真空测量

Inficon防腐蚀超纯陶瓷传感器

04

真空测量范围

0.01Pa1000Pa,测量精度0.2%

05

真空压力表

配置一个通用真空压力表用于系统真空粗测

06

连接管道

不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰与真空泵连接

轨道功能

序号

功能名称

技术要求

01

滑轨长度

2.5米~3米,能实现三温区炉子一个炉位长度的滑动,实现快速升降温

02

主要参数

手动滑动,可实现管式炉和等离子体发生器的滑动控制,达到快速降温,射频放射调节

03

特殊定制

轨道上安装方便拆卸的法兰支架,用以支撑炉管长度改变时的端口法兰;单温区炉子可以拆装至滑轨上与等离子体源配合使用;等离子体发生器可以拆卸


滑轨需满足的要求

1)常用方式是:等离子体发生器+三温区炉配合,其中导轨可以让三温区炉有一个炉位的滑动;

2)希望的搭配使用方式1是:等离子体发生器+单温区管式炉;

3)希望的搭配使用方式2是:单温区管式炉+等离子体发生器+三温区炉(此时三温区炉不需要滑动快速升降温)

需要做到单温区炉体能够比较方便地装到(1)方式的滑轨上,并且石英管两端的法兰支架可以在导轨长度内调节,能满足不同炉管长度条件下对法兰的支撑。

 


豫公网安备 41019702002438号