产品详情
  • 产品名称:气氛控制匀胶机

  • 产品型号:CY-SA
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
CY-SA气氛控制匀胶机是一种带有聚丙烯气密的可控制气氛的匀胶机,可在真空或惰性气体环境下进行旋涂。气氛控制匀胶机适用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。匀胶机工作时利用真空吸附的方式将样品固定在载样盘上,该设备可存储12组程序,每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同,使设备缓慢提升速度至极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,且不会过多浪费,节约材料。腔室的上盖可以对样品进行加热,有利于粘度大的薄膜材料的涂覆过程的进行。匀胶机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于个大专院校、科研所的实验室中进行薄膜的生成过程。
详情介绍:

气氛控制匀胶机主要特点:


1.设有12组程序,每组包含6个运行阶段。

2.真空吸附方式固定样件,操作简便。

3.真空度可以达到-0.08Mpa。

4.使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。

5.根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。

6.电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

7.本机可置于手套箱内使用,但控制部分与真空泵需置于箱外。

8.可在惰性气体气氛下涂层。

9.可在真空状态下涂层,在此状态下涂层,需要粘接基片方可实现。


气氛控制匀胶机技术规格:

输入功率

默认220V,50/60Hz,单相,可达1000W。

数字控制箱背面的电源插座用于为真空泵供电。

转速

500rpm-6000rpm可调

时间

1s-60s

电机

24DC无刷电机,可达200W

净重

25千克

尺寸

旋涂机:250mm(直径)×590mm (高)

控制机组:330mm (长)×380mm (宽)×165mm (高)

气氛控制匀胶机产品明细:

包括真空吸盘,用于涂覆高达6英寸的晶圆。

数字控制盒与旋转涂布机分开,允许您在远程位置操作。

包装包括无油真空泵和20毫升注射器可立即使用。  

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