精密温控高真空热蒸发镀膜机主要特点：
1. 6"外径 x 10"高的石英腔，便于清洁和装载样品
2. 2"直径可旋转样品架，用于均匀涂膜
3.钨丝圈加热器和氧化铝坩埚，适用于高达1700℃的高温涂层
4.精密温度控制，30个可编程段和+/- 1℃精度
5.通过可选的涡轮泵可实现高达1.0E-5 Torr的高真空
6.内置气体流量端口和阀门，用于腔室净化和化学气象沉积
精密温控高真空热蒸发镀膜机技术规格：
输入功率
输入电压：208 - 240 VAC
50/60 Hz，单相
输入功率：500 W
输出功率：40 A zui大电流，推荐工作电流<20 A.
不带插头的电源线
温度控制和加热器
1.带有热电偶的钨丝圈加热器内置在氧化铝坩埚的底部（用于温度控制。
标准S型热电偶（包括和安装） - 加热温度从 200℃-1500℃。
可选的B型热电偶（额外收费） - 加热温度为 1200℃-1700℃。
2.一个数字温度控制器，具有30个可编程段和+/-1℃精度
3.温度控制器的时间设置以秒为单位。建议将温度加热/冷却速率限制在1200℃以下0.3℃/ s（或 20℃/ min），并在 1200
- 1700℃范围内限制为 0.15℃/ s（或 10℃/ min）
4.对于高于1300℃的连续加热 ，请将操作时间限制在1小时以内，以保持底部法兰O形圈的使用寿命
5.对于高达2000℃的快速涂层，例如碳涂层所需，用户可以移除热电偶，氧化铝热块和氧化铝坩埚，将蒸发材料直接加载到钨盘管加热器中，并使用当前的手动控制模式
6.包括四个氧化铝坩埚（*高1700℃）和两个钨线圈加热器。
样品架
一个50毫米直径的可旋转样品台及其挡板安装在顶部法兰上。
转速：5 rpm
从样品架到蒸发源的距离可在40 mm到85 mm之间调节
真空
安装KF25真空端口以连接真空泵。
通过使用可选的涡轮分子泵泵送过夜，真空可达到<4.0E-6托。
涂层需要真空泵。请从以下产品选项中进行选择。
1、无真空泵，包括防腐蚀电容隔膜真空计，真空高达1.0E-6托
2、双级旋片式真空泵带有蒸汽疏水阀，可消除油雾，可达到1.0E-2 Torr的真空，蒸发贵金属材料，如金，银和有机材料。 包括抗腐蚀性电容薄膜规
3、紧凑型涡轮分子真空泵系统能够提供高达2.0E-5 Torr的真空度，用于蒸发氧气敏感材料，如Al。Mg，Li等。泵中包含一个组合的皮拉尼和冷阴极测量仪，用于测量高达1.0E-8托的真空度
进气口
内置1/4管接头，用于腔室吹扫或成型气体处理
内置一个针阀以控制气体流速
石英室尺寸
外径:165mm
保证
一年有限保修，终身支持
净重
50
kg
免责声明：
内径: 150mm
长度: 250mm
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