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  • 产品名称:精密温控高真空热蒸发镀膜机

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
精密温控高真空热蒸发镀膜机是一款紧凑型热蒸发涂布机,具有**和可编程的温度控制。精密温控高真空热蒸发镀膜机适用于涂覆大多数金属和有机材料薄膜至多2"尺寸从200℃至1500℃(或200℃- 1700℃,带有可选B型热电偶),内置可旋转的样品架以允许均匀的薄膜涂层。
详情介绍:

精密温控高真空热蒸发镀膜机主要特点:

1. 6"外径 x 10"高的石英腔,便于清洁和装载样品

2. 2"直径可旋转样品架,用于均匀涂膜

3.钨丝圈加热器和氧化铝坩埚,适用于高达1700℃的高温涂层

4.精密温度控制,30个可编程段和+/- 1℃精度

5.通过可选的涡轮泵可实现高达1.0E-5 Torr的高真空

6.内置气体流量端口和阀门,用于腔室净化和化学气象沉积

精密温控高真空热蒸发镀膜机技术规格:

输入功率

输入电压:208 - 240 VAC 50/60 Hz,单相

输入功率:500 W

输出功率:40 A  zui大电流,推荐工作电流<20 A.

不带插头的电源线

温度控制和加热器

1.带有热电偶的钨丝圈加热器内置在氧化铝坩埚的底部(用于温度控制。

标准S型热电偶(包括和安装) - 加热温度从  200-1500℃。

可选的B型热电偶(额外收费)加热温度为  1200-1700℃。

2.一个数字温度控制器,具有30个可编程段和+/-1℃精度

3.温度控制器的时间设置以秒为单位。建议将温度加热/冷却速率限制在1200℃以下0.3/ s(或  20/ min),并在  1200 -  1700℃范围内限制为  0.15/ s(或  10/ min

4.对于高于1300℃的连续加热  ,请将操作时间限制在1小时以内,以保持底部法兰O形圈的使用寿命

5.对于高达2000℃的快速涂层,例如碳涂层所需,用户可以移除热电偶,氧化铝热块和氧化铝坩埚,将蒸发材料直接加载到钨盘管加热器中,并使用当前的手动控制模式 

6.包括四个氧化铝坩埚(*高1700℃)和两个钨线圈加热器。

样品架

一个50毫米直径的可旋转样品台及其挡板安装在顶部法兰上。

转速:5 rpm

从样品架到蒸发源的距离可在40 mm85 mm之间调节

真空

安装KF25真空端口以连接真空泵。

通过使用可选的涡轮分子泵泵送过夜,真空可达到<4.0E-6托。

涂层需要真空泵。请从以下产品选项中进行选择。

1、无真空泵,包括防腐蚀电容隔膜真空计,真空高达1.0E-6

2、双级旋片式真空泵带有蒸汽疏水阀,可消除油雾,可达到1.0E-2 Torr的真空,蒸发贵金属材料,如金,银和有机材料。 包括抗腐蚀性电容薄膜规 

3、紧凑型涡轮分子真空泵系统能够提供高达2.0E-5 Torr的真空度,用于蒸发氧气敏感材料,如AlMgLi等。泵中包含一个组合的皮拉尼和冷阴极测量仪,用于测量高达1.0E-8托的真空度       

进气口

内置1/4管接头,用于腔室吹扫或成型气体处理

内置一个针阀以控制气体流速

石英室尺寸

外径:165mm
内径: 150mm
长度: 250mm

保证

一年有限保修,终身支持

净重

50 kg 

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