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  • 产品名称:可编程温控热蒸发镀膜仪

  • 产品型号:CY-PC
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
可编程温控热蒸发镀膜仪一款紧凑型热蒸发系统,共有4个蒸发源坩埚和精密的可编程温度控制。 可编程温控热蒸发镀膜仪可以使用四个蒸发坩埚沉积多种不同的材料,以在相同的腔室气氛中一个接一个地生长多层膜。该系统适用于涂覆大多数金属和有机材料薄膜,尺寸至多为2"从200ºC至1500ºC(或200ºC-1700ºC,可选B型热电偶)。
详情介绍:

可编程温控热蒸发镀膜仪产品特点:

1. 280 mm外径×260 mm内径×310 mm高度石英腔,便于清洁和装载样品
2. 2"可旋转蒸发源,用于均匀的薄膜涂层
3.钨丝圈加热器和氧化铝坩埚,适用于高达1700℃的高温涂层
4.精密温度控制,具有30个可编程段和+/-1℃精度
5.通过可选的涡轮泵可以实现高达1.0E-5 Torr的高真空
6.内置气体流量端口和阀门,用于腔室净化和CVD可能性

可编程温控热蒸发镀膜仪技术规格:

输入功率

输入电压:AC  208 - 240 V 50/60 Hz,单相(通过1500W变压器可提供110V AC)

输入功率:1200 W

输出功率:12 V,max电流30 A,推荐工作电流<30 A.

电源线不带插头

温度控制和加热器

• 四个氧化铝蒸发坩埚,每个容量3 mL,四个热源不能同时使用,多层沉积将逐一进行。

• 带有热电偶的钨丝圈加热器内置在氧化铝坩埚的底部(用于温度控制)。

标准S型热电偶(包含和安装),从200℃-1500℃加热

可选B型热电偶(额外收费),1200℃-1700℃加热

• 一个数字温度控制器,具有30个可编程段和+/- 1℃精度。

• 温度控制器的时间设置以秒为单位,建议将温度加热/冷却速度限制在1200℃以下0.3℃/ s(或20℃/ min),并从1200℃-1700℃限制在0.15℃/ s(或10℃/ min)

• 对于高于1300℃的连续加热,请将操作时间限制在1小时以内,以保持底部法兰O形圈的使用寿命

• 对于高达2000℃的快速涂层,如碳涂层所需,用户可以取下热电偶,氧化铝热块和氧化铝坩埚,将蒸发材料直接加载到钨盘加热器中,并使用当前的手动控制模式。

• 包括四个氧化铝坩埚(至高1700℃)和两个钨线圈加热器。

可旋转样品架

一个50毫米直径。可旋转样品台及其挡板安装在顶部法兰上。

转速:5 rpm

从样品架到蒸发源的距离可在40 mm到85 mm之间调节。

真空

1.安装KF25真空端口以连接真空泵

2.通过使用可选的涡轮分子泵泵送过夜,真空可达到<1E-5 Torr

3.涂层需要真空泵。请从以下产品选项中进行选择

•    双级旋片式真空泵 带有蒸汽疏水阀,可消除油雾,可达到1.0E-2 Torr的真空,蒸发贵金属材料,如金,银和有机材料。包括抗腐蚀性电容薄膜规包括

•    紧凑型涡轮分子真空泵系统能够提供高达1.0E-5 Torr的真空度,用于蒸发氧气敏感材料,如Al。Mg,Li等。泵中包含一个组合的皮拉尼和冷阴极测量仪,用于测量高达1.0E-8托的真空度

进气口

内置1/4管接头,用于腔室净化或合成气体处理

内置一个针阀以控制气体流速

石英室尺寸

外径:280mm(11")

内径:260mm(10.2")

长度:310mm(12.2") 

保证

一年有限保修,终身支持

净重

80 kg 

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