超高真空热蒸发镀膜仪产品特点：
超高真空热蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有机物。本机设有4个蒸镀加热舟，每个加热舟都可独立进行蒸镀，加热舟上方有一个可旋转挡板，当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住，以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。超高真空热蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极，在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化，进而损坏电极。该机采用金属腔室，具有极高的真空度，真空度可达到5.0×10-7torr，样品台可对样品进行加热，加热温度为室温-500℃，是进行高真空蒸发镀膜的主要设备。
超高真空热蒸发镀膜仪技术规格：
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输入和输出功率 |
输入：208 - 240VAC，20 A，50/60 Hz，单相 所需总功率：8KW（包括泵） 可根据要求提供其他3相电压 输出：zui大5VAC和300A Max。 |
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真空室 |
不锈钢腔：内径280mm×375 mm高度（~23升），喷砂电解抛光表面 室前100毫米观察窗 铰链式门，便于装载样品 每个蒸发W船的顶部都有手动操作的百叶窗，可以逐个蒸发4种材料 内置4个KF40端口，用于连接必要的设备 |
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真空泵 |
包括高速涡轮真空泵并连接到真空室。 真空速度：600L / S. 真空度：5.0x10-6Torr（泵送40分钟后） 极限真空：5.0x10-7Torr（在100-150℃烘烤后） 泄漏率：5.0x10-7Pa。 真空口：直径150毫米 |
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蒸发源和样品架 |
1.包括四个钨加热舟，由水冷电极支撑 2.钨加热舟尺寸为70毫米长x 12毫米宽x 3毫米H.备用钨舟只需额外付费。 3.船的每个顶部都有一个手动操作百叶窗 4.内置手动挡板，可以使用蒸发源，无污染 5.直径为100毫米的旋转样品架位于腔室顶部，直径为260毫米，可加热至600℃。通过数字温度控制器，精度为+ / 1℃ 6.蒸发源和样品架之间的距离可调节150-300 mm |
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控制单元 |
真空、厚度和功率控制集成在一个控制箱中。 控制单元与真空室分开，便于移动。 您可以将控制单元放在真空站的顶部。 |
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整体尺寸 |
L600mm×W860mm× H1500mm |
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净重 |
600 kg |
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设备安装要求 |
• 空间：250 SF，高度> 6英尺 • 功率：208 - 240V AC，单相，max功率10KW（50A断路器） • 水：电极冷却所需的流速> 15L /分钟。 |
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