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  • 产品名称:超高真空热蒸发镀膜仪

  • 产品型号:CY-UH
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
超高真空热蒸发镀膜仪一种超真空蒸发涂布机,设计用于涂覆氧气敏感的金属材料,如Ti、Al和Ir等。它还可用于涂覆各种材料。超高真空热蒸发镀膜仪有四个蒸发加热器源,同时在高达10-6托的高真空下涂覆两种材料。对于研究实验室来说,它是一种具有成本效益的涂膜机。
详情介绍:

超高真空热蒸发镀膜仪产品特点:

超高真空热蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有机物。本机设有4个蒸镀加热舟,每个加热舟都可独立进行蒸镀,加热舟上方有一个可旋转挡板,当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住,以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。超高真空热蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极,在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化,进而损坏电极。该机采用金属腔室,具有极高的真空度,真空度可达到5.0×10-7torr,样品台可对样品进行加热,加热温度为室温-500℃,是进行高真空蒸发镀膜的主要设备。

超高真空热蒸发镀膜仪技术规格:

输入和输出功率

输入:208 - 240VAC,20 A,50/60 Hz,单相 

所需总功率:8KW(包括泵)

可根据要求提供其他3相电压

输出:zui大5VAC和300A Max。

真空室

不锈钢腔:内径280mm×375 mm高度(~23升),喷砂电解抛光表面 

室前100毫米观察窗

铰链式门,便于装载样品

每个蒸发W船的顶部都有手动操作的百叶窗,可以逐个蒸发4种材料

内置4个KF40端口,用于连接必要的设备

真空泵

包括高速涡轮真空泵并连接到真空室。

真空速度:600L / S.

真空度:5.0x10-6Torr(泵送40分钟后)

极限真空:5.0x10-7Torr(在100-150℃烘烤后)

泄漏率:5.0x10-7Pa。

真空口:直径150毫米

蒸发源和样品架

1.包括四个钨加热舟,由水冷电极支撑

2.钨加热舟尺寸为70毫米长x 12毫米宽x 3毫米H.备用钨舟只需额外付费。

3.船的每个顶部都有一个手动操作百叶窗

4.内置手动挡板,可以使用蒸发源,无污染

5.直径为100毫米的旋转样品架位于腔室顶部,直径为260毫米,可加热至600℃。通过数字温度控制器,精度为+ / 1℃

6.蒸发源和样品架之间的距离可调节150-300 mm

控制单元

真空、厚度和功率控制集成在一个控制箱中。

控制单元与真空室分开,便于移动。

您可以将控制单元放在真空站的顶部。

整体尺寸

L600mm×W860mm× H1500mm

净重

600 kg

设备安装要求

•    空间:250 SF,高度> 6英尺

•    功率:208 - 240V AC,单相,max功率10KW(50A断路器)

•    水:电极冷却所需的流速> 15L /分钟。

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