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  • 产品名称:5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

  • 产品型号:CY-5css
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉是一种快速热处理炉,具有11"内径的石英室。5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉设计用于热蒸发或CSS(近距离升华)薄膜涂层,可涂覆达5"直径的圆形样品和温度可高达800℃。
详情介绍:

5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉产品特点:

1.由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部,两温度控制器进行独立控温

2.zui大升温速率为10℃/s

3.两个30段精密温度控制器内置,精度为+/-1ºC。

4.包括RS485端口和控制软件,允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。

5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉产品特点:

炉体结构和真空室

两个温度控制器。

腔室由高纯度熔融石英管制成。

石英管尺寸:11”OD / 10.8”ID×9”H

真空法兰由316不锈钢制成。

真空法兰

•    带有一个KFD-25真空端口和一个气体出口(需要1/4”管道)的顶部法兰可以手动向上或向下滑动,以便轻松地装载和卸载基材和蒸发的材料。

•    底部法兰有一个KFD-25真空口,带一个进气口(需要1/4”管)和针阀。

•    法兰采用双硅胶O型圈密封,采用机械泵可达到zui大真空压力为10E-2 Torr,采用分子泵可达10E-5 Torr(不含真空泵,请另外订购)。

•    一个数字真空计安装在顶部法兰上。 

•    精密防腐数字真空计是标准包装。

气体流量控制

气体混合器与两个浮子表集成,可调节的测量范围为16-160 mL / m

加热器和样品架

•    两个独立控制的加热器,手动可调间隙为2 - 30 mm。

•    20个卤素灯用作加热元件,用于快速热处理。

•    加热器由不锈钢制成,带有水冷夹套,可减少热辐射并实现快速冷却。

•    5“直径。圆形晶圆支架内置于顶部加热器中,用于固定基板。

•    包括一套高导热AlN板或石墨板(5“直径x 0.5mm厚)(放在底部用于蒸发材料)

•    包含58L / min循环水冷却器用于节约水源

温度控制器

•    两个精密数字温度控制器,30段可编程,可独立控制顶部和底部加热器。

•    每个控制器都具有PID自动调谐功能,可以保护加热器免受过冲和报警功能,避免过热,热电偶断开。

工作温度

•    每个加热器的zui高温度:<=800℃。

•    两个加热器之间的zui大温差:<=300℃取决于两个加热器之间的间距:间距30mm Max,温度差:315℃加热底部

加热和冷却速度

  • 加热:<8℃/ s(仅加热单个加热器)
  • 冷却:<10℃/ s(600 - 100℃)max。

热电偶

两个K型热电偶分别安装在顶部和底部加热器上。

工作电压

需要220VAC,单相,60A空气断路器

电力需求

总计9.5KW

尺寸

1085mm L x 680mm W x 1710mm H

保证

一年限制终身支持(石英管和加热灯等消耗部件不在保修范围内)。

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