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  • 产品名称:近距离蒸发镀膜炉

  • 产品型号:CY-RTP
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
近距离蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉,具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部),zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置,精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件,允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
详情介绍:

近距离蒸发镀膜炉产品特点:

 1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷装置上。
 2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片(Φ76mm×0.5mm),使得样品基片上的温度更加均匀。
 3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料。
 4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr,通过分子泵真空度可达10-5torr。
 5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
 6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可以准确测量腔内真空度。

近距离蒸发镀膜炉技术规格:

炉体结构和真空室

•    双加热器,两个温度控制器,双通道气体流量计集成在移动铝合金框架中

•    腔室由高纯度熔融石英管制成

•    石英管尺寸:11”OD / 10.8”ID×9”H

•    真空法兰由316不锈钢制成

•    外形尺寸:850(长)×745(宽)×1615(高)mm

真空法兰

•    带有一个KFD-25真空端口和两个气体出口(需要1/4"管)的顶部法兰可以手动上下滑动,轻松装卸基板和蒸发材料

•    底部法兰有一个KFD-25真空口,带两个进气口(需要1/4"管)和针阀

•    法兰由双硅胶O形圈密封,可通过机械泵实现10E-2 Torr的真空压力,通过分子泵实现10E-5 Torr(不包括真空泵,请单独订购)

•    精密防腐数字真空计是标准包装

气体流量计

控制面板上安装了两个浮子表,测量范围为:

•    16-160 mL / m

•    400 - 4000 mL / m(用于清洗目的)

加热器和样品架

•    两个短波红外灯作为加热元件,用于快速加热。

•    两个加热器之间的距离可在10 - 50 mm之间调节

•    加热器由不锈钢制成,带有水冷夹套,可减少热辐射并实现快速冷却

•    3"圆形晶圆支架内置顶部加热器,可装载基板

•    包括一个高导热AlN板(3”直径×0.5mm厚),它应放在基板的背面,使其均匀加热

温度控制器

•    两个精密数字温度控制器,30段可编程,可独立控制顶部和底部加热器

•    每个控制器都具有PID自动调谐功能,以保护加热器免受过冲和报警功能,以避免过热和热电偶断开

•    安装PC通信接口和软件记录温度曲线

工作温度

每个加热器的zui高温度:<=650℃

两个加热器之间的zui大温差:<=300℃取决于两个加热器之间的间距:

•    间距30mm zui大。温差:315℃加热底部

•    间距40mm zui大。温差:350℃加热底部

•    间距50mm zui大。温差:仅在加热底部395℃

加热和冷却速度

•    加热:<8ºC/ s(仅加热单个加热器)

•    冷却:<10ºC/ s(600 - 100ºC)Max.

热电偶

两个K型热电偶(外露)分别安装在顶部和底部加热器上

工作电压

208 - 240VAC,单相,20A空气断路器

电力需求

总计2200W(每个加热器1100W)

保证

一年限制终身支持(石英管和加热灯等消耗部件不在保修范围内)

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