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  • 产品名称:800℃近距离蒸发镀膜炉

  • 产品型号:CY-800CSS
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
800℃近距离蒸发镀膜炉是一款先进的快速热处理炉,配有11"内径的石英室和5"×5"旋转样品架。它设计用于CSS(近距离升华)薄膜涂层,可达5"圆形或方形晶圆样品,工作温度可达800℃。800℃近距离蒸发镀膜炉炉体由两组卤素加热器(顶部和底部)分别加热,zui高温度为10℃顶部样品架可旋转,实现高均匀性涂层,是研究CdTe,硫化物和钙钛矿太阳能电池等新一代太阳能电池薄膜的理想工具。
详情介绍:

800℃近距离蒸发镀膜炉产品特点:

1、两个温度控制器进行独立控温,双通道气体流量计集成到移动铝合金框架中。
2、腔室由高纯度熔融石英管制成,其尺寸为11”OD / 10.8”ID×9”H。
3、真空法兰由316不锈钢制成,并由电动机提升。
4、两个5”×5”红外加热板,间距可调。
5、两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制 
6、顶部载样台可旋转,转速可调:1-7rpm

800℃近距离蒸发镀膜炉技术规格:

工作电压

208-240VAC,单相, 50A空气断路器

真空法兰

•    带有一个KFD-25真空端口和一个气体出口(需要1/4”管道)的顶部法兰可以手动上下滑动,以便轻松地装载和卸载基材和蒸发的材料。

•    底部法兰有一个KFD-25真空口,带一个进气口(需要1/4”管)和针阀。

•    法兰采用双硅胶O型圈密封,可达到zui大。采用机械泵真空压力为10E-2Torr,采用分子泵10E-5Torr(不含真空泵,请另外订购)。

•    一个数字真空计安装在顶部法兰上。 

•    精密防腐数字真空计是标准包装

加热器和样品架

•    两个独立控制的加热器,手动可调间隙为2-30 mm。

•     20个卤素灯用作加热元件,用于快速热处理。

•    加热器由不锈钢制成,带有水冷夹套,以减少热辐射,并能够快速冷却。

•     5”直径圆形晶圆支架内置于顶部加热器中,用于固定基板。

•    包括一组高导热AlN板(5”直径×0.5mm厚)(放置在基板背面以使其均匀加热)。

•    包含58L / min循环水冷却器用于节约水源。

•    顶部样品架可在0 - 7 RPM的可调速度下旋转。

温度控制器

•    两个精密数字温度控制器,30段可编程,可独立控制顶部和底部加热器。

•    每个控制器都具有PID自动调谐功能,以保护加热器免受过冲和报警功能,以防止过热损坏热电偶。

•    安装PC通信接口和软件记录温度曲线。

工作温度

每个加热器的zui高温度:≤800℃。

两个加热器之间的zui大温差:≤300℃取决于两个加热器之间的间距:

•    间距30mm Max。温度差:315℃加热底部

加热和冷却速度

•    加热: < 8℃/s (仅加热单个加热器)

•    冷却: < 10℃/s (600 - 100℃) Max.

热电偶

两个K型热电偶分别安装在顶部和底部加热器上。

电力需求

总共10 KW

保证

一年限制终身支持(石英管和加热灯等消耗部件不在保修范围内)。

应用笔记

带有石英管的管式炉设计用于在真空和低压<0.2巴/ 3psi / 0.02Mpa下使用。真空压力只能在高达1000℃的温度下安全使用。气体的流速应限制在<200 SCCM(或200 ml / min),以减少对管的热冲击。

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