产品详情
  • 产品名称:台式紫外线臭氧清洗机

  • 产品型号:CY-DU
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
台式紫外线臭氧清洗机是一种台式紫外线(UV)臭氧清洁剂,带有基板加热器,用于清洁所有类型的基板,以低成本实现更好的薄膜质量。此外,台式紫外线臭氧清洗机是去除和剥离光刻胶,改善表面润湿性,清洁SEM和TEM样品,UV聚合物活化,组装等的理想工具。
详情介绍:

紫外线臭氧清洁剂已被证明对非酸性,干燥,非破坏性原子清洗和使用强烈的185 nm和254 nm紫外光去除有机污染物非常有效。在空气和室温下,185线产生臭氧,而254线激发表面上的有机分子。这种组合驱动有机污染物的快速破坏和抽取。

台式紫外线臭氧清洗机技术参数:

输入功率

AC 220V,50/60 Hz,功率350 W Max.

环境要求

•    只能室内使用;海拔高度可达5,500英尺;

•    温度范围41-104华氏度;

•    zui高相对湿度80%,高达87华氏度线性降低至50%相对湿度,华氏104度;

•    主电源波动不超过额定电压的10%;过压类别II;

•    污染等级2;臭氧水平(环境)测量<45 ppb。

紫外灯

•    固体金属双波汞灯

•    波长:253.7nm和184.9nm

•    紫外灯使用寿命:5000小时

•    紫外线照射面积:200×200 mm

•    可以清洗直径达12"的晶圆

腔室和样品台

•    不锈钢表壳

•    滑动抽屉,便于样品装载

•    样品台面积为310 mm×320 mm(12"×12")

•    臭氧通风装置内置于腔室内

•    定时器的范围为0.01秒至99.9小时。

可加热的样品台

•    样品台可通过精密温度控制器加热至150℃

•    温度控制器是20段可编程,精度为+/- 2℃.

•    温度均匀性:直径6英寸范围内<10℃;直径12英寸内<20℃

•    加热速度:zui高15℃

•    样品台和灯之间的距离可在20mm至40mm之间调节。

通风口

•     3英寸直径排气口内置于机器后部

•    包括一个10英尺的柔性管和一个通气夹,用于将清洁器排气管连接到实验室通风系统。

尺寸

510mm×350mm×400mm (W×H×D)

净重

62 lbs

保修

一年有限保修,终身支持。易碎的紫外灯不在保修范围内

应用

•    清洁硅晶片,砷化镓晶圆,石英和ITO玻璃

•    清洁所有类型的氧化物单晶衬底,如蓝宝石,STO和LAO。

•    清洁金和铂表面

•    轻金属材料的氧化表面

•    激活聚合物和交联聚合物

•    紫外光片光刻胶/光刻胶

•    UV清洁生产线LED显示屏

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