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旋转匀胶机应用

日期:2024-03-29 01:06
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摘要:
旋转匀胶机应用
  旋转匀胶机是一种用于工程与技术科学基础学科领域的计量仪器,于2014年12月12日启用。
技术指标
  旋转匀胶机可以自动定量滴加光刻胶(支持的光刻胶年度在10cp-500cp),也可以实验手动滴加光刻胶;匀胶的时间可以在0.1s到999s范围内调整且连续;满足旋涂3mm到150mm直径范围的样品;稳定的转速范围可在50转/分到8000转/分,加速范围从50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均匀性在2%(Resist AZ5214E,1um)。
主要功能
  旋转匀胶机常用于各种溶胶凝胶实验中的薄膜制作,需要旋涂的基片和的旋涂胶液间的粘滞系数不同,厚度也会有所不同,同时旋涂的时间和转速也会对厚度有不同的影响。

豫公网安备 41019702002438号