产品名称：RTP快速退火炉

        RTP快速退火炉是我公司自主研发的功能强大的加热设备。RTP快速退火炉采用进口红外加热管加热，造型新颖结构合理，炉体和炉管可以自由滑动，可实现快速升降温。炉管内尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成生产工艺的同时也大大降低了间接污染试样的可能性。设备配备LCD高清触摸屏，设定数据实验操作均为图文界面，操作方便快捷易上手，能够大大提高您的实验效率。设备预留了真空和气路的快速接口，可以选购我们的真空系统和混气系统一起使用。

RTP快速退火炉应用领域：

  快速退火炉设备，可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积等。

RTP快速退火炉技术参数：

产品名称	RTP快速退火炉
型号	CY-RTP1200-Φ120-400-200℃/s
炉管规格	内径120mm，加热温区400mm，总长度550mm 材质：高纯石英
升温速率	200℃/s  380V
加热元件	卤素灯
真空接口	KF16
进气接口	宝塔头 搭配外径8mm导气软管使用
法兰规格	φ120不锈钢真空法水冷法兰 水冷接口：φ8mm快插接头
真空系统	双极旋片泵 抽速1.1L/s 极限真空度： 10-1Pa
温控系统	智能温控表控温 带有超温保护 测温：K型热电偶
水冷机	水箱容量9L，*大扬程10m
电源要求	380V 50Hz，18kW
外形尺寸	1200mm x 610mm x 570mm

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