产品详情
  • 产品名称:RTP快速退火炉

  • 产品型号:CY-O1000-120I-T-RTP
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
RTP快速退火炉是我公司自主研发的功能强大的加热设备。RTP快速退火炉采用进口红外加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。
详情介绍:

        RTP快速退火炉是我公司自主研发的功能强大的加热设备。RTP快速退火炉采用进口红外加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。炉管内尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,试样反应区处在一个密闭的石英腔体内,在完成生产工艺的同时也大大降低了间接污染试样的可能性。设备配备LCD高清触摸屏,设定数据实验操作均为图文界面,操作方便快捷易上手,能够大大提高您的实验效率。设备预留了真空和气路的快速接口,可以选购我们的真空系统和混气系统一起使用。

RTP快速退火炉应用领域:

  快速退火炉设备,可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积等。

RTP快速退火炉技术参数:

产品型号

CY-O1000-120I-T-RTP

炉管材质

高纯石英

炉管直径

120mm

炉管长度

500mm

炉膛长度

440mm

加热区长

400mm

恒温区长

200mm

工作温度

0500

升温速度

推荐80/s,快升温速度200/s

降温速度

200以上≤25min

控温精度

±1

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD触摸屏

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头(Ø8宝塔嘴接头)

可抽真空

4.4E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz





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