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新闻详情
郑州高校实验室 三靶磁控溅射镀膜仪支持定制
日期：2026-06-01 16:24
浏览次数：11
摘要：郑州成越科仪CY-MSH325-III高真空三靶磁控溅射镀膜仪，专为高校、科研院所及企业研发设计，可制备金属、半导体、氧化物等多种薄膜
郑州成越科仪CY-MSH325-III高真空三靶磁控溅射镀膜仪，专为高校、科研院所及企业研发设计，可制备金属、半导体、氧化物等多种薄膜。采用304不锈钢腔体，φ325mm腔体配分子泵系统，极限真空达1×10⁻⁴Pa。支持直流/射频双电源，靶材2英寸，样品台加热500℃、转速可调。设备通过CE认证，提供上门安装培训与质保服务。
核心技术参数
| 设备型号 | CY-MSH325-III-DCDCRF-SS |
| 腔体规格 | φ325mm×550mm，304不锈钢材质 |
| 真空系统 | 600L/S分子泵组，极限真空1×10⁻⁴Pa |
| 靶材配置 | 3个2英寸水冷磁控靶，独立控温 |
| 供电系统 | DC 500W×2 + RF 300W 双电源 |
| 样品台参数 | φ150mm，室温~500℃可调，转速1-20rpm |
| 整机功率/电压 | 3.5KW，AC220V |
应用场景
广泛应用于材料科学研究、半导体薄膜制备、新能源材料研发、光学薄膜镀膜、高校实验室教学、科研院所专项实验等场景，是科研级薄膜制备核心设备。
常见问题FAQ
Q：设备可以镀哪些材料？
A：可镀金属（金、银、铜、铝等）、半导体材料、氧化物、氮化物等各类薄膜材料，完全适配科研级高精度薄膜制备需求。
Q：设备交货周期是多久？
A：标准现货款交货周期2-3周，非标定制款根据需求4-6周，全程包含上门安装、调试与技术培训服务。
Q：是否支持非标定制？
A：支持深度定制，可按需扩展4靶、6靶配置，可放大腔体尺寸、升级真空系统、增加自动化控制模块。
Q：设备售后质保政策是什么？
A：整机享受1年质保，核心真空、电源部件2年质保，终身提供免费技术咨询、设备维护指导。
Q：高校科研单位是否有专项优惠？
A：针对高校、职业院校、科研院所提供专项采购折扣，可协助适配科研经费申报、实验室配套方案定制。
企业实力保障：郑州成越科学仪器有限公司为高新技术企业，深耕材料制备设备研发生产多年，设备通过CE权威认证，产品覆盖**30+省市，远销海外。可免费提供个性化镀膜工艺方案、样品测试服务，欢迎各大高校、企业客户实地考察洽谈。咨询**：400-800-1730
