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成越科仪质量流量计的工作原理

日期:2019-01-18 05:27
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摘要:

质量流量控制器由流量传感器,分流器通道,流量调节阀和放大控制电路等部件组成,质量流量计由流量传感器,分离器通道和放大控制电路等部件组成。气体流过质量流量控制器(质量流量计)时,一部分气体通过流量传感器。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿),将检测的流量信号送入电桥,电桥将流量信号转变成电信号,电信号经放大器放大为05V,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的MT系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3 位半数字电压表设定电位器外设、内设转换和三位阀控开关等。MFC与流量显示仪连接后的质量流量计的工作原理如图所示:


 

 

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