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成越科仪高真空镀膜仪操作流程


高真空镀膜仪操作流程:


1.开启循环水,并检查循环情况和是否漏水。


2.开启电源总阀。


3.打开真空室的手动放气阀放气,放气结束后关闭手动放气阀。接着打开真空室盖。


4.放置蒸镀金属和样品,关闭真空室盖。


5.开启真空计,开启机械泵,然后打开前级阀。


6.待真空度小于10Pa后开启分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后开始蒸镀(蒸镀期间不要关闭机械泵、前级阀和分子泵)。


7.蒸镀:
(1)开启并设置膜厚控制系统。
(2)开启样品架旋转按钮(5%-10%),并打开样品托挡板。
(3)开启蒸镀电极电源并检查腔体内挡板情况
(4)膜厚仪示数归零。
(5)调节电流值(银38A;金50A)开始蒸镀。

(6)当膜厚达到要求值后先关挡板后,再将电流调节阀归零,并盖住样品托。


8.关闭设备
(1)关闭真空计  !!!!
(2)关闭分子泵,当分子泵示数为零时,关闭前级阀,蕞后关闭机械泵。
(3)打开真空室手动放气阀,放气结束后再关闭放气阀。
(4)取出样品(此时可以放置下一次要蒸的样品)。
(5)开启真空计,打开机械泵,前级阀,将真空室抽真空至10Pa以下。
(6)关闭真空计,关闭前级阀和机械泵。

(7)关闭设备总电源和墙上总电源以及循环水系统。


若出现异常,请先关闭分子泵!!!紧急情况,请关闭总电源!!!!


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