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郑州匀胶机半导体薄膜旋涂仪 可真空吸附定制
日期：2026-08-18 19:14
浏览次数：101
摘要：郑州成越科学仪器CY-SPC系列高精度匀胶机（旋涂仪）专为高校实验室、科研院所及半导体研发使用，采用无刷电机驱动，转速连续可调，配备真空吸附平台，可稳定完成光刻胶、氧化物薄膜、高分子涂层的旋涂制备。设备内置多段程序，转速区间0–10000rpm，旋涂均匀性高，腔体耐腐蚀，支持基片尺寸定制，整机自带负压系统，提供上门安装与技术培训
郑州成越科学仪器CY-SPC系列高精度匀胶机（旋涂仪）专为高校实验室、科研院所及半导体研发使用，采用无刷电机驱动，转速连续可调，配备真空吸附平台，可稳定完成光刻胶、氧化物薄膜、高分子涂层的旋涂制备。设备内置多段程序，转速区间0–10000rpm，旋涂均匀性高，腔体耐腐蚀，支持基片尺寸定制，整机自带负压系统，提供上门安装与技术培训。
核心技术参数
| 设备型号 | CY-SPC100 |
| 驱动电机 | 直流无刷电机，运行平稳无抖动 |
| 转速范围 | 0～10000 rpm，精度±1 rpm |
| 程序段数 | 10段程序可编辑，分段控速控时 |
| 基片平台 | 真空吸附吸盘，适配10mm~8英寸基片 |
| 旋涂均匀性 | ≤±3% |
| 整机电源 | AC220V 50Hz |
应用场景
广泛用于半导体晶圆光刻工艺、微纳加工、高分子薄膜、溶胶凝胶涂层、光电材料、玻璃基片镀膜、高校材料实验室、科研院所微加工平台。
常见问题FAQ
Q：这款旋涂仪可以适配多大尺寸样品？
A：标配支持10mm小片到6英寸晶圆，可定制升级8英寸真空吸盘。
Q：能不能设置多段变速旋涂程序？
A：支持10段速度与时间自由编辑，预铺胶+高速匀胶分段运行。
Q：是否自带真空泵？
A：整机集成负压真空系统，开箱即可使用，无需额外选配真空泵。
Q：腔体耐酸碱腐蚀吗？
A：腔体采用防腐工程塑料，可耐受光刻胶、有机溶剂长期挥发腐蚀。
Q：售后质保与交货周期？
A：标准机型现货，交货7~10天，整机质保一年，终身提供工艺技术支持。
Q：可以做非标自动化匀胶设备吗？
A：支持全自动进料、密闭腔体、防尘净化款定制，可对接手套箱使用。
企业实力保障：郑州成越科学仪器有限公司，专注真空薄膜与微纳加工设备研发生产，匀胶机稳定性高、性价比高，已服务**数百所高校与新材料企业。可免费提供旋涂工艺方案，支持试样测试，欢迎实地考察。咨询电话：0371-55199322
