产品详情
  • 产品名称:二路质量流量计

  • 产品型号:CY-2Z
  • 产品厂商:成越科仪
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
产品特点:1.选择多种气体方式;2.304不锈钢管芯,耐腐蚀;3.不锈钢双卡快速接头,连接方便,无泄漏。
详情介绍:


○ 适用范围
1.半导体制造业
2.真空镀膜设备
3.特殊材料表面处理
4.燃气控制
5.泄漏检测系统
6.环境检测分析设备
7.化学,石化,冶金,光纤等


○ 产品特点
1.选择多种气体方式
2.304不锈钢管芯,耐腐蚀
3.不锈钢双卡快速接头,连接方便,无泄漏


○ 技术参数

功能

两路质量流量计

质子流量控制器

工作温度:5~45 ºC
蕞大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

输入电源

AC 220V/50Hz单相

功率

150W

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

针阀

316 不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管 

外部通气管道为1/4”聚四氟管 

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀 

Φ1/4” 不锈钢管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期,终身维护


豫公网安备 41019702002438号