等离子测试系统 CY-PLT30-A - 郑州成越科学仪器有限公司

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产品名称：等离子测试系统
产品型号：CY-PLT30-A
产品厂商：成越科仪
产品文档：

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简单介绍：

本设备为客户定制等离子测试设备。设备主要部件为一个电感耦合的等离子发生器，发生器能够在电感线圈内部的石英管内产生等离子体，石英管两侧的法兰配有观察窗，用户可以在观察窗上观察实验现象或者用其他仪器测量相关参数。设备采用触控屏控制，屏幕集成所有实验功能，如抽放真空、流量控制、射频电源调节等。同时电感线圈采用水冷设计，外壳另有散热风扇，保证了整套设备长时间工作的稳定性。该设备是高校实验室进行等离子体相关性质研究的必备仪器。

详情介绍：

技术规格：

供电电压

AC220V，50Hz

*大功率

1KW

耦合方式

电感耦合

石英腔体

O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm

观察窗尺寸

φ30mm

真空接口

KF16

进气口接口

6.35mm 卡套接头

质量流量计

Ar标定量程100sccm

真空泵

双极旋片真空泵

极限真空度

0.1Pa

冷却方式

水冷铜管+风冷壳体

射频电源

*大输出功率300W

自动匹配

频率13.56MHz

整机尺寸

560mm X 620mm X 620mm

供电电压	AC220V，50Hz
*大功率	1KW
耦合方式	电感耦合
石英腔体	O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm
观察窗尺寸	φ30mm
真空接口	KF16
进气口接口	6.35mm 卡套接头
质量流量计	Ar标定量程100sccm
真空泵	双极旋片真空泵
极限真空度	0.1Pa
冷却方式	水冷铜管+风冷壳体
射频电源	*大输出功率300W 自动匹配频率13.56MHz
整机尺寸	560mm X 620mm X 620mm

产品名称：等离子测试系统