产品名称：桌面型热蒸发镀膜仪带膜厚仪

本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作，具有便于观察镀膜过程，易于清洗的优点；配合分子泵组可达到5x10^-4Pa极限真空，能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。

小型蒸发镀膜仪技术参数：

产品名称	桌面型石英腔体蒸发镀膜仪
产品型号	CY-EVZ180-I-H-Q
样品台	外形尺寸	直径φ60mm
	转速	≦20rpm
	至蒸发源间距	60～100mm 连续可调
热蒸发源	有机蒸发源（石英舟和钨丝发热源）
蒸发电源	每个蒸发源配一组独立电源
真空腔体	腔体尺寸	直径φ180mm，高度200mm
	观察窗口	直径φ60mm
	腔体材质	高纯石英
	开启方式	上开启式
膜厚测量	晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪）
真空系统	前级泵	双极旋片泵，气体抽速1.1L/S
	次级泵	涡轮分子泵,气体抽速600L/S
	真空测量	复合真空计(电离规+电阻规)
	系统真空	5×10-4Pa
控制系统	CYKY自研专业级控制器
其他参数	供电电源	AC220V,50Hz
	整机尺寸	600mm×600mm×750mm
	整机功率	1200W
	整机重量	40kg