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  • 产品名称:提拉法晶体生长炉

  • 产品型号:CY-02100°C-CZ-D8001000-T
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
提拉法晶体生长炉是一种能够制备高质量大尺寸单晶的关键设备,其技术优势明显,在从基础科学研究到现代信息产业、gao端制造业等众多领域都扮演着不可或缺的角色
详情介绍:

提拉法单晶生长设备,采用真空悬浮熔炼,其温度可达2100°C。此系统包含一个高频感应电源,高真空腔体,水冷铜坩埚(用于是浮熔炼)和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了样品被坩埚污染,可以得到高纯度的金属单晶.

提拉法晶体生长炉在jing确控制的环境下,将一小块作为“种子”的单晶与同质材料的熔体接触,然后通过缓慢地向上提拉和旋转,使熔体在种子晶体上按原有晶格结构不断外延生长,zui终形成一根较大的单晶棒

提拉法之所以成为制备电子级和光学级单晶的主流方法,主要归功于其以下显著优点:

1.晶体质量高

2.可生长大尺寸、完整性好的单晶

3.生长速度快,效率较高

4.可直观观察和控制生长过程

5.能够控制晶体的取向

6.可生长高熔点晶体

应用领域:

1.微电子工业

2.光电子产业

3.半导体照明与显示

4.光学元件

5.科学研究

提拉法晶体生长炉是一种能够制备高质量大尺寸单晶的关键设备,其技术优势明显,在从基础科学研究到现代信息产业、gao端制造业等众多领域都扮演着不可或缺的角色

技术参数:

产品名称

晶体生长炉

产品型号

CY-02100°C-CZ-D8001000-T

工作电压

240V AC,0.2-29 kHz,三相

工作电流

100A

zui大功耗

50 KW

熔化温度

zui高:2100°C (3812°F)

精度

< +/- 0.2°C,采用 Euro-thermo 温控器

zui大真空度

10-3 torr,采用机械泵(含)

真空室尺寸

500mm(直径)x 700mm(高)

水冷方式

水流经真空室夹套和晶种棒

水压

0.13 - 0.18 MPa

水流量

60 L/分钟

控制器

电子操作单元,用于控制拉晶、旋转和温度

拉晶器

由恒转矩直流电机驱动

拉晶速率

0.1-20mm/h

zui大籽晶棒移动距离

400mm

旋转速度

0-40 RPM

坩埚棒升降速度

手动

坩埚棒zui大移动距离

100mm

产品尺寸


晶体生长控制器

880mm(长) x 1250mm(宽) x 2850mm(高)

控制单元

680mm(长) x 540mm(宽) x 1700mm(高)

射频电源

800mm(长) x 500mm(宽) x 1500mm(高)

豫公网安备 41019702002438号