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一、设备简介
25Kg粉体磁控溅射镀膜仪是大容量粉体颗粒专用真空 PVD 包覆设备，专为单次装载 25kg 粉末物料设计，依托磁控溅射物**相沉积原理，配合腔体旋转、粉体翻滚振动机构，让粉体颗粒持续翻动、无死角滚动，在每一颗粉体表面均匀沉积金属、合金、陶瓷、氧化物纳米薄膜；全程高真空密闭环境，薄膜致密、厚度可控、包覆均匀无团聚，适配科研小批量中试、新材料改性制备场景，由郑州成越科学仪器研发生产，兼顾实验室研发与小批量试制需求。
二、主要用途
粉体颗粒表面包覆改性：微米 / 纳米粉末外包覆导电层、抗氧化层、防腐层、绝缘层、催化层、**层；
解决粉体痛点：粉体易氧化、团聚、导电性差、分散性不佳、界面相容性弱等问题；
可制备单层膜、多层复合膜、合金共溅射薄膜；
粉体样品 SEM 电镜导电镀金、镀银制样；
新材料配方工艺摸索、小批量中试包覆生产。
三、应用领域
新能源材料：锂电池正负极粉体、硅碳负极、石墨粉体包覆金属 / 碳基薄膜；固态电解质粉体改性、超级电容器电极粉体制备；
催化材料：催化剂粉末表面贵金属（Pt、Ag、Au）包覆，提升催化活性与稳定性；
粉末冶金 / 金属粉体：铁粉、铝粉、合金粉抗氧化镀层，提升粉体存储与烧结性能；
生物医药：药用粉体、羟基磷灰石粉体镀银**涂层，生物陶瓷粉体表面改性；
光电与传感器：荧光粉、发光粉体、光学微球表面光学薄膜包覆；气敏传感粉体敏感层制备；
复合材料填料：二氧化硅、氧化铝、碳化硅无机填料金属化包覆，提升树脂、橡胶界面结合力；
科研理化测试：各类粉末扫描电镜（SEM）导电镀膜制样。
四、标准技术参数：
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产品名称 |
25Kg 粉体磁控溅射镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-MSH980-25KG |
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粉体承载腔体系统 |
腔体尺寸 |
φ980mm×H606mm，304 不锈钢一体成型 |
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搅拌器旋转转速 |
0~200rpm 变频连续可调 |
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控温精度 |
±1℃ |
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结构配置 |
内置搅拌打散条，防止粉体堆积包覆不均 |
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观测部件 |
石英可视观察窗 |
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多弧等离子靶体配置 |
标配靶头数量 |
8靶 |
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靶头规格 |
圆柱形靶材：镍靶材，φ100X40 |
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适配靶材 |
各类金属、合金、陶瓷、氧化物靶材 |
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标配电源 |
8台多弧电源 |
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冷却方式 |
风冷 |
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真空机组系统 |
极限真空度 |
≤5×10⁻⁴ Pa |
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多弧工作气压 |
DC：0.1~0.5Pa；RF： |
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抽气组合 |
2000L/s 涡轮分子泵 + 无油前级真空泵 |
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整机静态漏率 |
＜1×10⁻⁸ Pa·m³/s |
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气路供气系统 |
基础工作气体 |
高纯氩气 |
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可选反应气体 |
氧气、氮气 |
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气体控制 |
高精度质量流量控制器，量程 0~500sccm |
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整机测控系统 |
操控方式 |
PLC+10 英寸触摸屏全自动程控 |
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工艺存储 |
可存储上30套镀膜工艺配方 |
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选配配件 |
石英晶体膜厚仪，膜厚分辨率 0.1Å |
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**防护 |
缺水、过压、过流、真空联锁全套报警保护 |
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整机基础参数 |
输入供电 |
AC380V/50Hz |
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整机额定功率 |
25KW |
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设备外形尺寸 |
1955mm×1650mm×1660mm |
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整机净重 |
1700Kg |
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