产品详情
  • 产品名称:快速退火炉

  • 产品型号:CY-R1000-100IT(*高温度1100℃)
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
RTP快速退火炉的主要特点有:可在真空/不同气氛/空气不同环境下,对样品进行快速热处理;控温精度高;适合高等院校或研究机构科研使用;主动式水循环冷却模式;立式设计;仪器采用触摸屏技术:操作方便,装取样片简单高效;价格合理,高性价比。
详情介绍:

本品是一款快速退火炉,采用卤素灯管加热,可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积、等等。

设备主要由石英真空室、真空泵机组、水冷机组、控制系统组成。控制系统采用智能温控表控制,触控屏操作。其数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发平台。炉膛采用左右滑动的方式,与样品的距离灵活可调。

设备配有国产双极旋片泵,具有体积小,噪音小,无油污污染等优点。

RTP快速退火炉技术参数:

型号

CY-O1000-100I-T-RTP

炉管规格

内径120mm,加热温区400mm,总长度550mm

材质:高纯石英

升温速率

0-100/s

降温速率

200℃以上≤25min

加热元件

卤素灯

真空接口

KF16

进气接口

宝塔头 搭配外径8mm导气软管使用

法兰规格

φ120不锈钢真空法水冷法兰

水冷接口:φ8mm快插接头

真空系统

双极旋片泵 抽速1.1L/s

极限真空度: 10-1Pa

温控系统

智能温控表控温

带有超温保护

测温:K型热电偶

水冷机

水箱容量9L,*大扬程10m

进气接口

φ8宝塔头

电源要求

220V 50Hz18kW

外形尺寸

1200mm x 610mm x 570mm


豫公网安备 41019702002438号