产品名称：紧凑型等离子清洗机

紧凑型等离子清洗机主要特点：

1.使用各种气体清洗和去除晶片上的纳米级有机污染物，至多可容纳2"。
2.涂层前预清洗单晶基板的优良工具，可获得更好的薄膜质量。
3.铰链式门，便于样品装载。
4.3"直径石英腔室，适用于清洁2”晶圆，可选配石英舟。
5.石英室内的可移动石英管易于清洁和更换。

紧凑型等离子清洗机技术参数：

射频功率	射频功率（线圈上施加的高压和高频电流）可在三个级别调节： 低设置 680V  10 mA  7 W 中等设置 700V  15 mA  11 W 高设置 720V  25 mA  18 W
等离子室	•3"直径×6.5"长的石英室 •700 mL容量 •高纯度石英室比玻璃具有更长的使用寿命
真空计和显示器	•Stinger压力表安装在铰链门上。 •1/8”NPT针阀，可定性控制气体流量和腔室压力。 •1/8”NPT三通阀，可快速切换出气体，隔离腔室和排气。
真空泵	包括一个双级旋片式真空泵
输入功率	AC 208 - 240V, 50/60Hz,单相
工作气体	•可以选择许多惰性气体进行等离子体清洁，例如N2，Ar，空气和混合气体取决于将要处理的材料类型。 •可以使用<5％H2混合惰性气体 •等离子清洁器不得使用易燃气体。
整体尺寸
净重	40磅
保证	一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室无保修)

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