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等离子清洗机是一款功能强大的桌面型真空等离子表面处理系统，专为高校科研、企业实验室及小批量精密生产场景而设计。设备采用304不锈钢真空方舱结构，有效处理面积达260×260mm。系统集成了高精度射频电源、质量流量计与全自动触摸屏操控模块，具备等离子清洗、表面活化、刻蚀、疏水/亲水改性等几乎全功能的等离子体处理能力
技术参数：
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设备名称 |
等离子清洗机 |
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设备型号 |
CY－PLM340 |
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腔体材质 |
304 不锈钢，真空方形腔体（方舱） |
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腔体内部尺寸 |
长 340mm× 宽 340mm× 高 250mm |
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有效清洗区域 |
300mm×300mm |
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极限真空度 |
9×10⁻¹Pa（标配双级旋片真空泵；可选配涡旋干泵） |
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真空泵参数 |
抽气速度 4L/s |
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真空系统组件 |
真空专用电磁角阀、充气阀、不锈钢真空波纹管、高精度数字式真空计、专用规管 |
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射频电源 |
功率 0~300W，数显连续可调 |
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充气系统 |
高精度质量流量计（MFC）一台及排空阀一套 |
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控制系统 |
PLC 核心 + 触摸屏全自动控制 |
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显示功能 |
实时显示真空度、功率、处理时间、工艺状态等 |
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工作电压 |
AC220V |
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