产品名称：自动门真空等离子清洗机

自动门真空等离子清洗机，腔体配置电动自动舱门，无需手动锁门，配合 PLC 触摸屏控制系统，自动完成关门→抽真空→进气→等离子处理→破真空→开门全流程。在低压真空环境下通入工艺气体（O₂、Ar、N₂等），射频 / 中频电源电离产生等离子体，通过物理轰击 + 化学反应，去除工件表面纳米级有机物、油污、氧化层，同时实现材料表面活化改性，提升粘接、镀膜、键合附着力；全程低温处理，不损伤精密基材，适合批量自动化生产，可对接产线机械手上下料。

一．核心优势

1.自动舱门：电动自动门，带anquan互锁保护，杜绝真空运行时误开门，适配自动化产线，减少人工操作

2.工艺可编程：多组工艺配方存储，真空度、功率、气体流量、处理时间参数可保存调用

3.全不锈钢腔体：耐腐蚀，易清洁，无析出污染样品

4.低温工艺：腔体内温度低，芯片、PCB、高分子、柔性材料不会热损伤

5.多气体通路：多路质量流量计，精准控气，可切换氧气、氩气、氮气等工艺气体

6.丰富通讯接口：RS485 / IO 信号，支持与机械手、MES 系统联动

7.anquan报警系统：真空异常、电源过载、气压、门体异常报警与停机保护

二．应用领域

1.半导体封装：引线键合、BGA、芯片塑封前清洗活化

2.电子行业：PCB/FPC、连接器、传感器、光学元件镀膜前处理

3.材料科研：高分子、陶瓷、玻璃、薄膜表面改性

4.医疗耗材：植入件、导管、生物芯片表面清洁与活化

5.新能源：电池极片、陶瓷基材、密封件粘接预处理

6.显示行业：盖板玻璃、ITO 膜、TP 贴合前表面处理

三.技术参数