产品详情
  • 产品名称:紧凑型紫外线臭氧清洗机

  • 产品型号:CY-CU
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
紧凑型紫外线臭氧清洗机用于清洁所有类型的晶体基板,以低成本实现更好的薄膜质量。此外,紧凑型紫外线臭氧清洗机是去除和剥离光刻胶、改善表面润湿性、清洁SEM和TEM样品、UV聚合物活化、组装等的理想工具。
详情介绍:

紧凑型紫外线臭氧清洗机采用不需要任何溶剂的干式清洗技术,对清洗表面没有损伤。采用大功率低压石英汞灯,产生波长185nm和254nm的紫外线,185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的臭氧分子O3,254nm的光同时激发清洗表面的有机分子,使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在时间短,且同时也被254nm的光分解,因此可调节样品台到灯管的距离来优化性能。

紧凑型紫外线臭氧清洗机技术参数:

输入功率

AC 110V or AC 208~240V( 可选的)

紫外灯

•     固体金属双波汞灯

•     紫外灯功率:zui大55W。

•     波长:254nm和185nm

•     紫外灯使用寿命:2500小时

•     紫外线照射面积:100×100 mm(4”×4”)

•     峰值紫外线强度:4.6毫瓦/平方厘米。

腔室和样品台

•     外形尺寸:9 1/2”×7 7/8”×6”

•     抽屉尺寸:5 1/4”×5 1/4”×1”

•     抽屉到灯的距离:1 1/16“

•     从基座到灯的距离:5/16“

•     硼硅酸盐玻璃基座:4”×4”×3/4”

•     18号钢制底盘和盖板,粉末涂层

•     总重量:9磅

合规

CE认证

保证

一年有限保修,终身支持(耐热玻璃室不保修)

环境要求

•    只在室内使用;海拔高度可达5,562英尺;

•    温度范围41-104华氏度;

•    zui高相对湿度80%,高达87 华氏度线性降低至50%相对湿度,华氏104度;

•    主电源波动不超过额定电压的10%;过压类别II;

•    污染等级2;臭氧水平(环境)测量<45 ppb。

Application

•    清洁SPT,AFM尖端和表面的分子污染

•    固化UV-粘合剂

•    SAM表面的紫外光图案化

•    氧化PDMS

•    蚀刻,图案,锐化

•    清洁MEMS器件

•    清洁衬底表面,如Si,Ge,GaAs和所有氧化物晶体衬底

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