产品名称：真空喷雾热解涂膜机

       真空喷雾热解涂膜机包含一个软件，用于喷头移动和分配速率的自动化。 由步进电机控制的正排量泵用于根据需要分配溶液。 喷头在基板上喷射精细的雾化溶液，其运动由步进电机驱动的线性平台在X和Y方向控制，以确保均匀涂层。 可以通过改变喷嘴处的压缩气体压力来调节喷雾模式和速度。

       喷雾热解是通过在加热的表面上喷射溶液来沉积薄膜的过程，其中组分反应形成化合物。该方法对于氧化物的沉积特别有用，并且长期以来一直是将氧化锡（SnO₂）或氧化锡的透明导电体施加到玻璃基板上的制造方法。现在，这种技术越来越多地用于制备钙钛矿薄膜，例如钙钛矿太阳能电池。

真空喷雾热解涂膜机技术参数：

项目	明细
供电电压	AC220V，50Hz
喷涂室	690mm X 690mm X 790mm
雾化头	高压空气雾化喷头X 3 每个喷头均配有高压气体驱动挡板，防止滴落
压力调节器	可调节压缩空气进气
*大功率	3.5KW （含压缩机+蠕动泵约0.5KW）
液体粘度	1-50mPa·s（cP）
喷头行程	X-Y轴 *大180mm
移动速度	0-250mm/s （x轴方向）  0-250mm/s（Y轴方向）
加热衬底基板	200mm X 200mm
*高温度	500℃
控温方式	AI-PID 控温
滴涂罐容量	50mL/250mL/50mL
蠕动泵分液速率	0.006-41mL/min
真空泵	双极旋片真空泵
真空计	机械式真空计
极限真空度	≤5000Pa
操控方式	工控电脑+仪器面板
整机尺寸	900mm X 900mm X 1750mm

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