产品名称：膜厚监控仪

一、技术特点：

1.全触摸屏操作显示，简单易用；

2.二组继电器输出，到达设置厚度自动关闭挡板/蒸发源；

3.实时显示速率、厚度、镀膜曲线和镀膜时间；

4.提供RS232/RS485接口。

二．应用范围：

适用于电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，通过触摸屏和数码管显示，使您能获取完整的沉积数据。

采用了更先进的软件和硬件设备，进一步提高了仪器抗干扰能力。   

三、主要参数：

CY-FTM107-A监控仪
晶振频率	6MHz（可选2.5M 3M 5M 9M晶体)
显示方式	5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚
操作方式	触摸屏
厚度显示范围	0-99μ9999Å
厚度实际分辨率	0.1Å（铝）
厚度显示分辨率	1Å
速率范围	0-999.9Å
速率显示分辨率	0.1Å/s
镀膜层数	99层
探头输入	4路（任选一路工作）
工具因子	0.01-99.99
材料存储	257+自定义10种
通 讯	RS232/RS485
挡板/源控制	2组触点，到达厚度关挡板/蒸发源
镀膜显示	速率曲线/数值
镀膜巡回次数	0-99
机箱尺寸	480×250×89mm(2U 19”机箱)

四．特殊功能：

（1）具有人工停止镀膜功能  

（2）可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比

（3）显示镀膜结束后的监测实厚、材料和层次