多通道膜厚监控仪 CY-FTM-M4/M6 - 郑州成越科学仪器有限公司

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简单介绍：

适用于普通蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，特别适合多蒸发源镀膜机和多腔室镀膜机进行膜层监控；膜厚监控仪的控制和显示均通过触摸屏实现，使您能获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和镀膜时间等。

详情介绍：

一、技术特点：

1.多达六路探头可同时监控，每路自由设置，既能独立运行，也可联合工作。

2.每路二组继电器输出，到达设置厚度自动关闭挡板/蒸发源；

3.全触摸屏操作显示，简单易用；

4.提供RS232/RS485接口，MODBUS RTU标准协议，多波特率可选，并配有专用控制软件。

二、应用范围：

适用于普通蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，特别适合多蒸发源镀膜机和多腔室镀膜机进行膜层监控；

膜厚监控仪的控制和显示均通过触摸屏实现，使您能获取完整的沉积数据，包括速率、厚度和镀膜时间等。

三、主要参数：

四、特殊功能：

（1）任意设置每一路的工作状态，具有人工停止镀膜功能；

（2）可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比；

（3）显示镀膜结束后的监测厚度、晶振频率、材料和层次。

产品名称：多通道膜厚监控仪