产品详情
  • 产品名称:5L等离子清洗机电容耦合

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
等离子清洗机(plasma cleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的
详情介绍:

等离子清洗机(plasma cleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的

5L等离子清洗机 电容耦合特点:

腔体可利用面积大,起辉均匀,可清洗6英寸硅片。


5L等离子清洗机电容耦合技术参数:

主要部件

指标名称

参数指标

清洗仓体

清洗仓材质

SS304

清洗仓尺寸

200x160x240mm

耦合方式

电容耦合

电源特性

该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。

电源优势

●可长时间正常运行
● 操作简单灵活

● 电源效率高、发热少
● 具有完善的反射功率保护功能

射频功率

0~300W连续可调

信号频率

13.56MHz ±0.005%

反射功率

100W

功率稳定度

±0.1%

射频接头

N型头

整机效率

75%

谐波分量

-50 dBc

冷却方式

强制风冷

测量部件

两路质量流量计 Ar 0~200sccm O2 0~200sccm 可定制

其他参数参考之前的产品

气体通道

两通道

A通道量程

10100ml

B通道量程

16160ml

真空测量

数字真空计(电阻规)

真空抽取

双极旋片泵

电机转速

50Hz时为:144060Hz时为:1720

抽气速率

50Hz时为:240L/Min60Hz时为:288L/Min

真空量程

0.1Pa10000Pa

极限真空

0.5Pa

电机噪音

56dB

管道接口

进气口:KF16;排气口KF16.

连接管道

KF16真空波纹管

真空阀门

KF16球阀

电机功率

400W

供电电源

AC220V 50/60Hz

整机功率

800W

使用温度

-10 -- 40

工作真空

40Pa

整机尺寸

600mmX650mmX560mm

整机重量

80kg(含包装)


豫公网安备 41019702002438号