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  • 产品名称：500真空提拉炉

  • 产品型号：CYKY-TLL500-A01
  • 产品厂商：成越科仪
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简单介绍：
500真空提拉炉（带称重模块）主要用于真空/保护气氛环境下晶体提拉生长实验与小批量试制生产，整机集成炉膛系统、提拉转晶系统、称重模块、感应加热系统、水路循环、气路控制、电气控制系统；依托高精度传感器与伺服电机
详情介绍：

一.设备用途

500真空提拉炉（带称重模块）主要用于真空/保护气氛环境下晶体提拉生长实验与小批量试制生产，整机集成炉膛系统、提拉转晶系统、称重模块、感应加热系统、水路循环、气路控制、电气控制系统；依托高精度传感器与伺服电机，实现各模块独立协同运行，完成实时数据采集、闭环反馈，保障晶体生长工艺流程稳定、高效运行。

二.设备主要特点

1.感应加热结构，支持不同规格感应线圈快速安装适配；

2.弧形炉门结构，兼顾磁场感应均匀性，设备整体结构协调美观；

3.集成高精度S型称重模块，可实时采集晶体生长重量变化；

4.宽范围提拉速度、双向晶体转速，满足多种晶体生长工艺；

5.中英文人机交互界面，具备自动工艺运行、手动调试、完整数据记录与报警管理；

6.完备anquan互锁、紧急停机EMO保护，保障人员与设备anquan。

三. 技术参数

产品名称

500真空提拉炉

产品型号

CYKY-TLL500-A01

腔室尺寸

Φ500mm×750mm

极限真空

＜10Pa

提拉分辨率

0.001mm

丝杆有效行程

300mm

拉速范围

0.01～30000mm/h

晶体转速

-20～20 rpm（双向旋转）

称重方式

S型称重传感器

称重量程

0‑25kg

称重分辨率

0.01g

中杆末端跳动

＜1mm

加热电源功率

25kW，中频4KHz感应加热

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