Name: 钇铝石榴石单晶炉
Brand: 成越科仪
SKU: CY-YAG-100

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产品名称：钇铝石榴石单晶炉
产品型号：CY-YAG-100
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

钇铝石榴石单晶炉以提拉法（Czochralski）为核心工艺，面向钇铝石榴石（YAG）系激光晶体及掺钛蓝宝石、氟化钙、氟化镁等高温氧化物与氟化物单晶的生长需求

详情介绍：

钇铝石榴石单晶炉以提拉法（Czochralski）为核心工艺，面向钇铝石榴石（YAG）系激光晶体及掺钛蓝宝石、氟化钙、氟化镁等高温氧化物与氟化物单晶的生长需求。设备以中频感应加热实现 2000 ℃ 以上的高温熔化，以真空与多组分气氛系统调控氧分压与还原性环境，以高精度伺服传动与称重反馈实现低速稳定提拉与直径自动控制。全文依次说明设备定位与工作原理、五类应用场景、八项主要技术特点、整机技术参数，并汇总温度、拉速、转速、气氛、压力等工艺参数对晶体质量的影响规律，为设备选型与生长工艺开发提供参考.

钇铝石榴石单晶炉是以提拉法（Czochralski，CZ）为核心工艺、面向 YAG 系激光晶体生长设计的高温真空／气氛单晶生长设备。设备以中频感应加热方式在铱（Ir）或钼（Mo）坩埚内将原料熔化至 1970 ℃ 以上，通过籽晶引晶、放肩、等径、收尾四个阶段完成晶体生长，并在此过程中对温度、拉速、转速、气氛压力与气体组分实施闭环控制。

相较于通用型晶体生长炉，YAG 单晶炉在三个方面具有针对性设计：一是2000 ℃ 以上的高温热场与坩埚体系，需解决铱坩埚的氧化防护与高温蠕变问题；二是氧分压的精细调控能力，微量氧既抑制铱的挥发与夹杂，又影响晶体色心；三是低速率、高精度的提拉传动系统，YAG 的典型拉速仅 0.5–2.0 mm/h，对传动平稳性与称重分辨率提出极高要求。

一，钇铝石榴石单晶炉应用领域：
（一）激光晶体生长
（二）光学窗口与光学元件
（三）闪烁与探测材料
（四）新型单晶材料研发
（五）科研与教学平台
二，钇铝石榴石单晶炉技术参数：

产品名称	钇铝石榴石（YAG）单晶炉
产品型号	CY-YAG-100
结构形式	立式单室／双室（可选）
zui高工作温度	2200 ℃
长期工作温度	2000–2100 ℃
加热方式	中频感应加热
中频电源功率	60 kW（30／80／120 kW 可选）
中频频率	4–10 kHz
温度控制精度	±0.5 ℃（等径段）
测温方式	双色红外测温仪 + 钨铼热电偶
冷态极限真空	≤ 6.7×10⁻³ Pa
压升率	≤ 0.5 Pa/h
工作气氛	真空／N₂／Ar／Ar+H₂／N₂+O₂ 微量掺混
气氛压力范围	0.01–0.3 MPa（连续可调）
气体流量控制	质量流量计 3 路，0–50 SLM/路
提拉行程	300 mm
提拉速度	0.1–20 mm/h，分辨率 0.01 mm/h
提拉速度稳定度	≤ ±0.5%
籽晶旋转速度	0–40 rpm，精度 ±0.5 rpm
坩埚旋转速度	0–20 rpm（可选）
坩埚升降行程	100 mm（可选）
称重系统	上称重／下称重，量程 10 kg，分辨率 0.1 g
晶体直径范围	Φ20–100 mm
晶体等径长度	≤ 250 mm
单炉生长周期	3–15 天
冷却水要求	压力 0.3–0.6 MPa，流量 ≥ 15 m³/h，进水温度 ≤ 28 ℃
供电要求	三相 380 V／50 Hz，总容量约 100 kVA
控制方式	PLC + 工控机，工艺曲线可编程，直径自动控制
数据记录	全参数曲线记录、报警日志、配方管理、数据导出
整机尺寸（参考）	2200 × 1800 × 3200 mm
整机重量（参考）	约 3.5 t

注：表中参数为典型配置的工程参考区间，实际参数随晶体体系、坩埚规格与热场方案调整，具体以技术协议为准。

产品名称：钇铝石榴石单晶炉