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  • 产品名称:多功能镀膜仪

  • 产品型号:CY-1100X-SPC-16C
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
多功能镀膜仪是我公司独立研发的新型产品,既可进行等离子溅射法镀膜,也可进行蒸发镀膜。这款多功能镀膜仪可以与分子泵或者旋片式真空泵连接以获取不同的镀膜环境,已被广泛用于ITO镀膜和金属镀膜。
详情介绍:

此款多功能镀膜仪是一台小型台式镀膜仪,外形小巧,操作便捷,设有真空表,溅射电流表等,可实时监控工作状态。通过调节电离气体和镀膜仪参数,可获得良好的镀膜效果。由于既可进行等离子镀膜,又可进行热蒸发镀膜,为广大客户所欢迎,并受到好评。

多功能镀膜仪技术参数

型号

CY-1100X-SPC-16C

靶材直径

50mm

样品台直径

50mm

真空腔体尺寸

φ160*110mm

真空度

10Pa~10-3Pa

Max电流

50mA

Max设置时间

9999s

工作电压

直流1600V,可调

 

真空泵

双极旋片真空泵:10100Pa

涡旋分子泵系统:10-3Pa

电源电压

220V 50Hz

总功率

2000W

蒸发镀膜zui高温度

1100

热电偶

S型热电偶

控温精度

±1

钨丝篮

2

真空接口

KF25

显示器

LCD触摸屏

膜厚监测仪(选配)

电源:DC5V 工作电流400mA

膜厚分辨率:0.0136埃米

膜厚准确度:±0.05%,取决于过程条件

测量速度:100ms-1s每次,可调

标准传感晶体:6MHz石英


豫公网安备 41019702002438号