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此款多功能镀膜仪是一台小型台式镀膜仪，外形小巧，操作便捷，设有真空表，溅射电流表等，可实时监控工作状态。通过调节电离气体和镀膜仪参数，可获得良好的镀膜效果。由于既可进行等离子镀膜，又可进行热蒸发镀膜，为广大客户所欢迎，并受到好评。
多功能镀膜仪技术参数
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型号 |
CY-1100X-SPC-16C |
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靶材直径 |
50mm |
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样品台直径 |
50mm |
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真空腔体尺寸 |
φ160*110mm |
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真空度 |
10Pa~10-3Pa |
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Max电流 |
50mA |
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Max设置时间 |
9999s |
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工作电压 |
直流1600V，可调 |
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真空泵 |
双极旋片真空泵：10—100Pa 涡旋分子泵系统：10-3Pa |
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电源电压 |
220V 50Hz |
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总功率 |
＜2000W |
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蒸发镀膜*高温度 |
1100℃ |
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热电偶 |
S型热电偶 |
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控温精度 |
±1℃ |
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钨丝篮 |
2个 |
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真空接口 |
KF25 |
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显示器 |
LCD触摸屏 |
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膜厚监测仪（选配） |
电源：DC5V 工作电流400mA 膜厚分辨率：0.0136埃米 膜厚准确度：±0.05%，取决于过程条件 测量速度：100ms-1s每次，可调 标准传感晶体：6MHz石英 |
