产品名称：小型二合一镀膜仪

等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用高纯石英腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-1Pa的真空度，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。

小型二合一镀膜仪适用范围：

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。

小型二合一镀膜仪技术参数：

小型二合一镀膜仪
样品台	尺寸	φ80mm	至蒸发源间距	20mm~50mm可调
直流溅射头	数量	2”×1
蒸发系统	蒸发源	钨丝篮	*高温度	1700℃
	热电偶	S型热电偶
真空腔体	腔体尺寸	φ180mm×150mm	观察窗口	全向透明
	腔体材料	高纯石英	开启方式	顶盖拆卸式
真空系统	机械泵	旋片泵	抽气接口	KF16
	真空测量	电阻规	排气接口	KF16
	极限真空	1.0E-1Pa	供电电源	AC;220V 50/60Hz
	抽气速率	旋片泵：1.1L/S
溅射电源配置	数量	直流电源×1	*大输出功率	150w
其他	供电电压	AC220V,50Hz	整机尺寸	360mm×300mm×470mm
	整机功率	1.5kw	整机重量	20kg

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