产品详情
  • 产品名称:三靶等离子溅射镀膜仪

  • 产品型号:CY—VTC16—3HD
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
这款三靶等离子镀膜仪是我公司研发的实验室用小型镀膜仪(直流普通型),可节省空间;采用了触摸屏模式的控制面板,操作更加简单便捷,放置样品的直径为50mm,加热温度可达500℃。CY-VTC16-3HD三靶等离子镀膜仪可溅射Au、Ag、Cu等多种靶材,并且样品台可以旋转,能够一次在同一样品上涂覆三层薄膜。
详情介绍:

三靶等离子镀膜仪CY-VTC16-3HD的特点 

 1:PLC触摸屏控制面板,7英寸触摸屏,PID控温方式。

2:真空度、电流、靶材位置、基片加热温度均可控制。

3:可以通过KF25快接法兰与真空泵、不锈钢波纹管连接。

4:此款等离子溅射镀膜仪已通过CE认证。

产品参数

产品型号

CY-VTC16-3HD

外形尺寸

360×350×360mm

重量

50kg

电源

220V 50Hz

输入功率

2000W(含真空泵)

输出电压

1600V DC

输出电流

50mA(Max电流)

镀膜腔尺寸

Φ160×120mm

样品台尺寸

Φ50mm(可选购加热型样品台,温度可高达500℃,最长溅射时间不可超过5分钟)

真空泵

120L/M旋片式真空泵

进气口

装有精密可调针阀,得以方便的调节进气量

靶材尺寸

Φ47mm,厚度0.5~3mm

靶材材质

可选AuAgPtCrNi

可选配件

1KF25快接法兰

2:不锈钢波纹管(600mm

3:旋片式真空泵

4PtAgZn等多种高纯度金属靶材

5:加热样品台

包装

三合板木质包装




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