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  • 产品名称:小型3靶等离子溅射镀膜仪

  • 产品型号:CY-SP
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
小型3靶等离子溅射镀膜仪是一款紧凑型三旋转靶等离子溅射镀膜机,带有触摸屏数字控制器和能够加热至500℃的基板加热器。小型3靶等离子溅射镀膜仪可以将1-3种金属材料涂覆到直径为50mm的样品上。 有三个溅射靶:金、银、铜包括在内可立即使用。
详情介绍:

小型3靶等离子溅射镀膜仪产品性能:

小型3靶等离子溅射镀膜仪可溅射金、银、铜三种靶材,不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台,能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜,适用于实验室制备复膜的样品。本机采用PLC控制面板对设备进行控制,操作方便直观。该机设备小巧,占用实验室空间少,操作简单,应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。

小型3靶等离子溅射镀膜仪技术规格:

输入功率

•    单相220 VAC,50 / 60Hz

•     700 W(包括真空泵)

•    对于使用110 VAC,我们将为您提供变压器。

输出功率

1600 VDC,40 mA max

真空室

•    真空室: 150 mm ID×165mm OD×150 mm H,由高纯度石英制成

•    密封法兰由不锈钢制成,带有扁平O形圈

带加热器的样品台

•    样品台尺寸:直径50 mm.

•    溅射距离范围: 25–40 mm可调

•    具有三个溅射位置的可旋转平台(由触摸屏控制)

•    内置基板加热器,zui高加热温度为500℃

•    触摸屏集成了精度为+/- 1℃的PID温度控制器

控制面板

•  6”彩色触摸屏,PLC集成,操作简便

• 真空计、溅射电流计和基板温度控制集成在触摸屏面板上

• 前面板上的调节旋钮用于进气和溅射电流控制

• 可通过触摸屏访问溅射位置,溅射计时器和过程记录

防护罩

附带不锈钢防护罩,提供额外保护

溅射靶

靶材尺寸要求: 47 mm直径×2.5 mm max

标准包中包含三个目标,可立即使用:

•    金靶,直径47 mm×0.12mm

•    银靶,直径47 mm×0.5mm

•    铜靶,直径47mm×2.5mm

CYKY可以订购各种靶材

尺寸

440 mm L × 330 mm W × 455 mm H

净重

50 kg

保证

一年有限终身支持

注意

高压!溅射头连接到高压。为安全起见,操作员必须在样品装载和目标更换操作之前关闭设备。

由于能量低,该设备不适合涂覆轻金属材料,如Al,Mg,Zn,Ni等。请考虑我们的磁控溅射涂布机或热蒸发涂布机。

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