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产品详情
简单介绍:
本型号等离子溅射仪,采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验,本设备配备换位自转式样品台,用户可以在触控屏上实现一键换位,样品台可在两个靶位自由切换,本设备体积小巧造型美观功能强大,是实验室镀膜试验的*佳选择。
详情介绍:
本型号换位自转等离子镀膜仪,采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型换位自转等离子镀膜仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。换位自转等离子镀膜仪配备换位自转式样品台,用户可以在触控屏上实现一键换位,样品台可在两个靶位自由切换,到位后样品台还可进行自转,以增强镀膜的均匀性。另外客户可以选配晶振式膜厚仪对膜厚进行监测,以提高镀膜的精准度。
本设备体积小巧造型美观功能强大,是实验室镀膜试验的*佳选择。
换位自转等离子镀膜仪技术参数:
项目 |
明细 |
产品型号 |
CY-PSP180G-1TA-SWR |
样品台 |
直径φ60mm, 可在两个靶位间自动切换 |
直流溅射头 |
2”x1 |
腔体材质 |
高纯石英 |
腔体尺寸 |
φ180mm X 150mm |
真空泵 |
旋片泵 |
极限真空 |
1.0E-1Pa |
真空接口 |
KF16真空法兰 |
进气口 |
φ6.35卡套接头 |
供电电源 |
AC 220V 50Hz |
整机功率 |
1.5KW/2KW(旋转加热) |