产品名称：桌面型不锈钢腔体蒸发镀膜仪

本产品为专为高真空设计的桌面型小型蒸发镀膜仪，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作，出厂经过除气处理，配合分子泵组可达到5x10^-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。真空腔体采用上掀盖开启方式，便于取放样，腔体上配置有带挡板的适应观察窗，用于观察镀膜过程，挡板则可以有效防止观察窗被膜料污染。

小型蒸发镀膜仪技术参数：

小型高真空热蒸发镀膜仪
产品型号	CY-EVZ180-I-H-SS
样品台	尺寸	φ60mm
	转速	1-20rpm可调
	至蒸发源间距	60mm~100mm可调
蒸发系统	蒸发源	钨丝篮
	热电偶	S型热电偶
	*高温度	1700℃
真空腔体	腔体尺寸	φ170mm× 210mm
	观察窗口	石英观察窗 φ80
	开启方式	上开启式
	腔体材料	不锈钢
真空系统	产品型号	CY-GZK103-A
	抽气接口	KF40
	分子泵	大阪60l/s
	排气接口	KF16
	前极泵	旋片泵
	真空测量	复合真空计
	极限真空	1.0E-5Pa
	抽气速率	分子泵：60L/S  旋片泵：1.1L/S  综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-4Pa
其他	供电电压	AC220V,50Hz
	整机功率	1.5kw
	整机尺寸	600mm× 300mm× 470mm
	整机重量	40kg