产品名称：近距离有机物蒸发镀膜炉

近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。

近距离蒸发镀膜炉产品特点：

 1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷装置上。
 2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。
 3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。
 4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr。
 5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
 6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以准确测量腔内真空度。

近距离蒸发镀膜炉技术规格：

产品名称	5英寸近距离蒸发镀膜炉
产品型号	CY-EVH350JJL-5"-Q
样品台	外形尺寸	5"x5"
	转速	1-20RPM
	可调温度	≦950℃
热蒸发源	20个红外灯管作为加热元件
真空腔体	腔体尺寸	350 mm Dia x 300 mm h
	观察窗口	100 mm
	腔体材质	高纯石英
	开启方式	前开门式
膜厚测量	晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪）
真空系统	配有一套分子泵系统
	系统真空	1×10-5Pa
流量计	两路浮子流量计 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m
工作温度	每个加热器的*高温度：RT-950℃。 两个加热器之间的*大温差：<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距：间距 30mm *大。 温差：315ºC @ 仅加热底部
温控系统	两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶保护
水    冷	循环水冷机（KJ-5300型，16L/min)
控制系统	CYKY自研专业级控制器
其他参数	供电电源	208V 60HZ  三相
	整机尺寸	600mm×650mm×1500mm

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