- 磁控溅射镀膜仪
- 热蒸发镀膜仪
- 高温熔炼炉
- 等离子镀膜仪
- 可编程匀胶机
- 涂布机
- 等离子清洗机
- 放电等离子烧结炉
- 静电纺丝
- 金刚石切割机
- 快速退火炉
- 晶体生长炉
- 真空管式炉
- 旋转管式炉
- PECVD气相沉积系统
- 热解喷涂
- 提拉涂膜机
- 二合一镀膜仪
- 多弧离子镀膜仪
- 电子束,激光镀膜仪
- CVD气相沉积系统
- 立式管式炉
- 1200管式炉
- 高温真空炉
- 氧化锆烧结炉
- 高温箱式炉
- 箱式气氛炉
- 高温高压炉
- 石墨烯制备
- 区域提纯炉
- 微波烧结炉
- 粉末压片机
- 真空手套箱
- 真空热压机
- 培育钻石
- 二硫化钼制备
- 高性能真空泵
- 质量流量计
- 真空法兰
- 混料机设备
- UV光固机
- 注射泵
- 气体分析仪
- 电池制备
- 超硬刀具焊接炉
- 环境模拟试验设备
- 实验室产品配件
- 实验室镀膜耗材
- 其他产品

5英寸近距离蒸发镀膜炉是一款快速热处理炉,其炉腔体是-直径为12英寸的石英管。 此款设备专[门实际针对于热蒸发或于顶部和底部)
, *大升温速率为20°C/s。采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降温程序。仪器面板上安装有RS485接口,可配用控制软件将升温程序和温度曲线都导入到电脑中。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe.硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具。
蒸发镀膜炉技术参数:
产品名称 |
5英寸近距离蒸发镀膜炉 |
|
产品型号 |
CY-EVH350JJL-5"-Q |
|
样品台 |
外形尺寸 |
5"x5" |
转速 |
1-20RPM |
|
可调温度 |
≦950℃ |
|
热蒸发源 |
20个红外灯管作为加热元件 |
|
真空腔体 |
腔体尺寸 |
350 mm Dia x 300 mm h |
观察窗口 |
100 mm |
|
腔体材质 |
高纯石英 |
|
开启方式 |
前开门式 |
|
膜厚测量 |
晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪) |
|
真空系统 |
配有一套分子泵系统 |
|
系统真空 |
1×10-5Pa |
|
流量计 |
两路浮子流量计 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m |
|
工作温度 |
每个加热器的*高温度:RT-950℃。 两个加热器之间的*大温差:<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距:间距 30mm *大。 温差:315ºC @ 仅加热底部 |
|
温控系统 |
两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序 每个温控系统都带有超温和断偶保护 |
|
水 冷 |
循环水冷机(KJ-5300型,16L/min) |
|
控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
|
其他参数 |
供电电源 |
208V 60HZ 三相 |
整机尺寸 |
600mm×650mm×1500mm |