产品名称：三源高真空蒸发镀膜仪

三源高真空蒸发镀膜仪，设备采用前开门式真空腔体设计，腔体空间大，可拓展性强，能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台，可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热，所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统，由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成，可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境；真空系统内含有完善的气动阀系统，用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、完全停机等操作。

 三源高真空蒸发镀膜仪详情介绍：

 本设备的蒸发源共三组，采取钨舟蒸发源，水冷式铜电极，可*大支持260A的大电流，加热温度*高可达1800℃，可实现多种难熔金属的蒸镀，三组独立热蒸发源，不会导致镀材互相污染。本设备采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离，有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计，真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作，通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作，在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越，是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。

 三源高真空蒸发镀膜仪应用领域：

金属和介电膜

薄膜传感器的制造

光学元件

纳米与微电子

太阳能电池

  三源高真空蒸发镀膜仪技术参数：

三源高真空蒸发镀膜仪
样品台	尺寸	*大支持φ150mm样品
	功能	可旋转，*高加热500℃
蒸发源	数量	钨舟x3
电源	每个蒸发源配一组独立电源；三个蒸发源共三组独立电源
真空腔体	腔体尺寸	φ300x400mm
	观察窗口	前置φ100mm
	腔体材料	304不锈钢
	开启方式	前开门式
膜厚控制（选配）	晶振式膜厚测量仪，可选多通道膜厚控制仪
真空系统	前级泵	双极旋片泵
	抽气接口	KF16
	次级泵	涡轮分子泵
	抽气接口	CF160
	真空测量	电阻+电离 复合真空规
	排气速率	机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s
	极限真空	1.0E-5Pa
	供电电源	AC 220V 50/60Hz
	抽气速率	旋片泵：1.1L/S
控制系统	PLC自动控制 操作界面：触控屏+操作面板 （触摸屏可控制沉积过程和快速数据输入；用户友好 PLC 软件系统，可以通过网络更新）
其他	供电电压	AC380V,50Hz
	整机尺寸	1000mm X 800mm X 1500mm
	整机功率	5kW
	整机重量	350kg