产品详情
  • 产品名称:三源高真空蒸发镀膜仪

  • 产品型号:CY-EVH300-III-HHH-SS
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
三源高真空蒸发镀膜仪应用领域: 金属和介电膜 薄膜传感器的制造 光学元件 纳米与微电子 太阳能电池
详情介绍:

三源高真空蒸发镀膜仪,设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、完全停机等操作。


 三源高真空蒸发镀膜仪详情介绍:

 本设备的蒸发源共三组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可*大支持260A的大电流,加热温度*高可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀,三组独立热蒸发源,不会导致镀材互相污染。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越,是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。

 三源高真空蒸发镀膜仪应用领域:

金属和介电膜

薄膜传感器的制造

光学元件

纳米与微电子

太阳能电池

  三源高真空蒸发镀膜仪技术参数:

产品名称

三源高真空蒸发镀膜仪

产品型号

CY-EVH300-III-HHH-SS

样品台

外形尺寸

直径φ150mm

可调温度

500

热蒸发源

金属蒸发源钨舟3

蒸发电源

每个蒸发源配一组独立电源;三个蒸发源可同时共蒸

真空腔体

腔体尺寸

直径φ300mm,高度400mm

观察窗口

直径φ100mm

腔体材质

304不锈钢

开启方式

前开门式

膜厚测量

晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪)

真空系统

前级泵

双极旋片泵,气体抽速1.1L/S

次级泵

涡轮分子泵,气体抽速600L/S

真空测量

复合真空计(电离规+电阻规)

系统真空

5×10-4Pa

控制系统

CYKY自研专业级控制器

其他参数

供电电源

AC380V,50Hz

整机尺寸

1000mm×800mm×1500mm

整机功率

7KW

整机重量

350kg


豫公网安备 41019702002438号