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三源高真空蒸发镀膜仪,设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、完全停机等操作。
三源高真空蒸发镀膜仪详情介绍:
本设备的蒸发源共三组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可*大支持260A的大电流,加热温度*高可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀,三组独立热蒸发源,不会导致镀材互相污染。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越,是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。
三源高真空蒸发镀膜仪应用领域:
金属和介电膜
薄膜传感器的制造
光学元件
纳米与微电子
太阳能电池
三源高真空蒸发镀膜仪技术参数:
产品名称 |
三源高真空蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVH300-III-HHH-SS | |
样品台 |
外形尺寸 |
直径φ150mm |
可调温度 |
≦500℃ |
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热蒸发源 |
金属蒸发源钨舟3个 |
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蒸发电源 |
每个蒸发源配一组独立电源;三个蒸发源可同时共蒸 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ300mm,高度400mm |
观察窗口 |
直径φ100mm |
|
腔体材质 |
304不锈钢 |
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开启方式 |
前开门式 |
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膜厚测量 |
晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪) |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵,气体抽速1.1L/S |
次级泵 |
涡轮分子泵,气体抽速600L/S |
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真空测量 |
复合真空计(电离规+电阻规) |
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系统真空 |
5×10-4Pa |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
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其他参数 |
供电电源 |
AC380V,50Hz |
整机尺寸 |
1000mm×800mm×1500mm |
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整机功率 |
7KW |
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整机重量 |
350kg |