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高真空蒸发镀膜仪，钨丝篮（或钨舟）用作蒸发源，并且样品台和蒸发源之间的距离是可调的。 该仪器可以稳定地蒸发金属和某些有机物。 采用高真空不锈钢腔体，密封性能好，真空性能好。 该腔室配有观察窗，因此可以看到涂层过程。 采用分子泵系统的**真空10E-5Pa，可有效提高涂层质量，并能满足大多数蒸发涂层实验所需的真空环境.
高真空热蒸发镀膜仪用途：
本仪器适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜。
高真空热蒸发镀膜仪技术参数：
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产品名称 |
双源温控型高真空热蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVV195-II-HH-SS-HV |
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样品台 |
位 置 |
顶部设置 |
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外形尺寸 |
直径φ65mm |
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转 速 |
0-20 rpm |
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间 距 |
样品架和蒸发源之间的距离可调 |
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可调温度 |
≦500℃ |
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热蒸发源 |
钨丝篮×2个，钨舟×2个 |
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蒸发电源 |
每个蒸发源配一组独立电源；双个蒸发源可同时共蒸 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
直径φ180mm×H210mm |
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观察窗口 |
直径φ100mm |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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开启方式 |
前开门式 |
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膜厚测量 |
晶体膜厚测量仪（也可选膜厚控制仪） |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
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次级泵 |
涡轮分子泵,气体抽速600L/S |
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真空测量 |
复合真空计(电离规+电阻规) |
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系统真空 |
5×10-4Pa |
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控制系统 |
CYKY自研专业级控制器 |
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其他参数 |
供电电源 |
AC380V,50Hz |
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整机尺寸 |
600mm×650mm×1500mm |
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整机功率 |
7KW |
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整机重量 |
260kg |
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