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一、设备性能:
六源蒸发镀膜仪以金属/有机源蒸发为主体,适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等,也可用作教学及生产线前期工艺试验等,整套设备操作简便,综合功能多,扩展空间大,适合及满足大专院校的教学与科研工作。
二、设备基本结构:
镀膜设备由真空室腔体,金属/有机源系统,样品台系统,真空泵机组,膜厚检测系统,设备机架,电控系统组成,真空室前门可与手套箱对接,采用一体化的设计方案,整套设备结构紧凑、布局简洁,避免实验设备外观凌乱的现象。
适应领域:
适用于制备金属电极、钙钛矿太阳能电池、OLED、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于于小批量及中试生产或大批量生产前的试验工作。
产品特点:
设备兼容有机/无机蒸发,可实现多元分蒸或共蒸获得多层膜、复合膜,性能稳定,尤其温控有机蒸发源不仅角度可调,均匀性好,同时可通过进口膜厚仪联动控制实现速率**控制、掺杂;样品台可升降调整源-基片距离,有效节约贵重材料,降低实验成本;ATTO10全自动高真空电阻蒸发镀膜系统采用windows操作平台和cotrl2000控制系统,采用IPC+network技术,实现整机主要部件的参数化设置、实施实时监控及故障智能诊断以及膜厚全自动监控,有自动和手动控制两种模式。除取放样品外,其它操作过程全部在PC上使用软件控制;提供真空系统、工艺设置、充放气系统等友好人机操作界面;在工控机上可通过配方设置参数,实现对程序工艺过程和设备参数的设置、储存和打印。
膜厚全自动监控系统,自动设计、工艺读入、参数设置、实时监控等功能,实现整个镀膜过程的全自动控制。可以设置数十层甚至上百层的膜层控制,简单实现单层或多层共蒸。
三、设备技术指标:
产品名称
带手套箱六源蒸发镀膜仪
产品型号
CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX
真空室腔体
外形
上等 304 不锈钢 D 形真空室腔体 1 套,真空室内部尺寸 D400*480mm,前后双开门,后门采用铰链式方门,方便清洗真空腔体,真空室内部调试,维修以及取放物品,前门采用横拉方门,前后门各配 DN100 视窗 1 套;
底部
金属源接口 2 套,有机源接口 4 套, 复合分子泵接口 1 套,CF25照明接口 2 套以及膜厚探头接口 3 套;
顶部
样品台接口 1 套,电动挡板接口 1 套,高真空气动挡板阀接口 1 套
左侧
超高真空气动挡板阀接口 1 套
金属/有机源系统
金属蒸发源
金属蒸发源 2 套:水冷铜电极 2 组,兼容蒸发舟(钨、钼和钽舟)和螺旋丝,配气动挡板,1KW 直流恒流电源 1 台(数字显示),电流调整精度 1A(微调),功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀;
有机蒸发源 4 套
有机蒸发源 4 套:4CC(4ml) 石英舟,温控电源 2 台(温控表显示精度 0.1℃),温度区间:室温-500℃(控温精度±1℃),配气动挡板;
隔板
蒸发源相互独立,隔板分隔,避免交叉污
样品台系统
基片旋转
转速 0~30 转/分连续可调
基片升降
电动升降,衬底与蒸发源间距 200-300mm 通过触摸屏连续可调;
样品台
圆形托盘 1 套,一次可放置8片20×20mm 基片
基片挡板
电动挡板
真空泵机组
1) 600L/s分子泵 1 台;
2) 8L/s双级泵 1 台
3) CF150 气动超高真空插板阀 1 台;
4) CF40 超高真空气动挡板阀 1 台;
5) KF16 高真空气动挡板阀 1 台;
6) KF40 高真空气动挡板阀 1 台;
7) KF40 真空电磁充气阀 1 台;
8) KF40 泵阀连接软管 2 套,KF40 三通 1 套;
膜厚检测系统
膜厚仪
三通道石英晶振膜厚监测仪 1 套;
膜厚探头
CF35 水冷膜厚探头 3 套
设备机架
1) 40 碳钢方管焊接机架 1 套,表面喷塑;
2) 万向轮 4 件,移动调整;
3) M16 地脚 4 件,锁紧定位
电控系统
金属源蒸发源气动挡板
2套
金属蒸发源电源1kw
1套
有机源蒸发源气动挡板
4套
有机蒸发源电源
2套(1带2)
烘烤照明电源
1 台
样品台电动挡板
1套
总控制电源
1套
PLC 控制
配触摸屏
手套箱
腔体尺寸
L1200* W750* H900mm
手套
3只
大过渡舱
内径360mm, 长 600mm
小过渡舱
内径150mm, 长300mm
其他技术参数
1) 缺相保护、误操作保护,联动互锁以及一键真空启停等功能;
2) 供电:~220V 两相供电系统(峰值 3KW);
3) 供水:小型冷水机,冷却水温度 5℃~35℃,工作环境温度:10℃~40℃;
4) 供气:小型无油静音气泵,提供 0.2-0.3MPa 气压,驱动气动阀门;
5) 极限真空:优于 6×10-5Pa,大气至 6×10-4Pa 时间小于 35 分钟(充干燥氮气),关机
12 小时真空度≤10Pa。
9) ZDF-5227 数显真空计 1 台(测量范围:1×105~1×10-5Pa)。