产品名称：OLED有机无机蒸发镀膜系统配手套箱

一、设备性能：

六源蒸发镀膜仪以金属/有机源蒸发为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足大专院校的教学与科研工作。

二、设备基本结构：

镀膜设备由真空室腔体，金属/有机源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架，电控系统组成，真空室前门可与手套箱对接，采用一体化的设计方案，整套设备结构紧凑、布局简洁，避免实验设备外观凌乱的现象。

适应领域：

适用于制备金属电极、钙钛矿太阳能电池、OLED、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于于小批量及中试生产或大批量生产前的试验工作。

产品特点：

设备兼容有机/无机蒸发,可实现多元分蒸或共蒸获得多层膜、复合膜，性能稳定，尤其温控有机蒸发源不仅角度可调，均匀性好，同时可通过进口膜厚仪联动控制实现速率**控制、掺杂；样品台可升降调整源-基片距离，有效节约贵重材料，降低实验成本；

ATTO10全自动高真空电阻蒸发镀膜系统采用windows操作平台和cotrl2000控制系统，采用IPC+network技术，实现整机主要部件的参数化设置、实施实时监控及故障智能诊断以及膜厚全自动监控，有自动和手动控制两种模式。除取放样品外，其它操作过程全部在PC上使用软件控制；提供真空系统、工艺设置、充放气系统等友好人机操作界面；在工控机上可通过配方设置参数，实现对程序工艺过程和设备参数的设置、储存和打印。

膜厚全自动监控系统，自动设计、工艺读入、参数设置、实时监控等功能，实现整个镀膜过程的全自动控制。可以设置数十层甚至上百层的膜层控制，简单实现单层或多层共蒸。

三、设备技术指标：

1. 真空室腔体
外形	上等 304 不锈钢 D 形真空室腔体 1 套，真空室内部尺寸 D400*480mm，前后双开门，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，前后门各配 DN100 视窗 1 套；
底部	金属源接口 2 套，有机源接口 4 套， 复合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探头接口 3 套；
顶部	样品台接口 1 套，电动挡板接口 1 套，高真空气动挡板阀接口 1 套
左侧	超高真空气动挡板阀接口 1 套
2. 金属/有机源系统
金属蒸发源	金属蒸发源 2 套:水冷铜电极 2 组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，配气动挡板，1KW 直流恒流电源 1 台（数字显示），电流调整精度 1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；
有机蒸发源 4 套	有机蒸发源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，温控电源 2 台（温控表显示精度 0.1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板；
隔板	蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污
3. 样品台系统
基片旋转	转速 0～30 转／分连续可调
基片升降	电动升降，衬底与蒸发源间距 200-300mm 通过触摸屏连续可调；
样品台	圆形托盘 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片
基片挡板	电动挡板
4. 真空泵机组
真空泵机组	1) 600L/s分子泵 1 台； 2) 8L/s双级泵 1 台 3) CF150 气动超高真空插板阀 1 台； 4) CF40 超高真空气动挡板阀 1 台； 5) KF16 高真空气动挡板阀 1 台； 6) KF40 高真空气动挡板阀 1 台； 7) KF40 真空电磁充气阀 1 台； 8) KF40 泵阀连接软管 2 套，KF40 三通 1 套； 9) ZDF-5227 数显真空计 1 台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。
5. 膜厚检测系统
膜厚仪	三通道石英晶振膜厚监测仪 1 套；
膜厚探头	CF35 水冷膜厚探头 3 套
6. 设备机架
1) 40 碳钢方管焊接机架 1 套，表面喷塑； 2) 万向轮 4 件，移动调整； 3) M16 地脚 4 件，锁紧定位
7. 电控系统
金属源蒸发源气动挡板		2套
金属蒸发源电源1kw		1套
有机源蒸发源气动挡板		4套
有机蒸发源电源		2套（1带2）
烘烤照明电源		1 台
样品台电动挡板		1套
总控制电源		1套
PLC 控制		配触摸屏
8.手套箱
腔体尺寸		L1200* W750* H900mm
手套		3只
大过渡舱		内径360mm, 长 600mm
小过渡舱		内径150mm, 长300mm
9. 其他技术参数
1) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能； 2) 供电：～220V 两相供电系统（峰值 3KW）； 3) 供水：小型冷水机，冷却水温度 5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃； 4) 供气：小型无油静音气泵，提供 0.2-0.3MPa 气压，驱动气动阀门； 5) 极限真空：优于 6×10-5Pa，大气至 6×10-4Pa 时间小于 35 分钟（充干燥氮气），关机 12 小时真空度≤10Pa。