产品详情
  • 产品名称:匀胶涂膜机

  • 产品型号:CY-4Z
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
该高速匀胶涂膜机适用于涂胶和甩干等工艺,它采用变频电源控制器,通过设定键可随意调节转速与时间,启动快、转速稳定、时间精确,并可长时间连续稳定工作。使用该高速匀胶涂膜机可以有效控制胶的厚度,并具有很好的均匀性、一致性。本产品操作方便、稳定性高,具有较高的性能价格比,可广泛应用于科研生产。
详情介绍:
高速匀胶涂膜机的主要结构特点:
1、采用无刷伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
2、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈,便于清洗。
3、排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。

4、透明可视,耐化学腐蚀的密封盖(丙烯酸材质),可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢

   出有效隔绝有毒气味的散发。

高速匀胶涂膜机的主要性能指标:
1、主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
2、旋涂程序:100种程序,多步程序步骤,每个步骤可精确到0.1秒
3、转动速度:0-8000rpm
4、旋涂加速度:0-8000rpm/sec(空载)
5、马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
6、转速调节精度<0.2rpm,重复性< 0.2rpm
7、工艺时间设定: 0-999.9 sec/step 0.1 精度
8、支持wafer尺寸1cm-200mm
9、旋涂作业均匀性:±3%在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
《高性能匀胶机的工作原理》


豫公网安备 41019702002438号