产品名称：真空防腐型匀胶机

真空防腐型匀胶机性能优点：

1.真空防腐型匀胶机主机机箱采用PP外壳材料，耐腐蚀易清洁

2.内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料（HDPE）

3.采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

4.排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

5.透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）

马达旋涂转速稳定性能误差 ：<±1rpm

转速调节精度及重复性：1rpm

CY-S-V真空防腐型匀胶机带真空数字显示功能

工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec

支持晶圆尺寸：碎片至200mm（8”圆晶）

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