产品详情
  • 产品名称:精密匀胶机

  • 产品型号:CY-AC200
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
此款匀胶机共有两种型号:CY-AC200-SE是标准型号,CY-AC200-PE是高端型号;CY-AC200精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,这是一种程控伺服型精密匀胶机,可以实现价值百万美元设备上才能达到的稳定性和均匀性。这款设备采用了不锈钢外壳,更加耐久和美观;采用了工业级别的200W的伺服电机系统和与track设备相同的设计和程序,使工艺更具有实际应用意义;CY-AC200在同类产品中领先的最先达到5000RPM/s的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
详情介绍:

主要性能指标

1:主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)

2:内腔采用易清洁、耐腐蚀的超高分子材料(HDPE)

3:旋涂程序:蕞多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒

4:旋涂速度:0-10000rpm

5:旋涂加速度:0-50000rpm/s

6:马达旋涂转速稳定性能误差:<±1rpm(CY-AC200-SE);<±0.1rpm(CY-AC200-PE)

7:转速调节精度及重复性:1rpm(CY-AC200-SE);0.1rpm(CY-AC200-PE)

8:CY-AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能

9:工艺时间设定:0-3000sec/step,时间设置精度:0.1sec

10:支持wafer尺寸:碎片至200mm(8''圆晶)

11:旋涂作业均匀性:<±3%在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米测量)

产品特性优点

1:蕞新的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸

2:采用7英寸触摸屏控制面板,操作更加便捷

3:采用“密闭碗”设计,可以适应各种材料的匀胶工艺。

4:标准配置的转速为10000rpm,可以根据用户需要进行定制

5:采用工业级的伺服电机,电机独特的设计可以避免光刻胶等污染物进入电机内部

6:机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。

7:排风和抽气系统位于载片台的底部,利于排风效率和匀胶的均一性

8:透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。


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