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产品详情
简单介绍:
本加热型匀胶机主要利用离心涂覆原理将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,该工艺在材料研究领域有着广泛的应用。本加热型匀胶机的工作腔体为聚四氟(塑料王)材质,它是由四氟乙烯经聚合而成的高分子化合物,具有优良的化学稳定性和极强的耐腐蚀性,已广泛应用于各种需要抗酸碱和有机溶剂的场合。本加热型匀胶机内安装有真空数字传感器,涂敷过程中可实时检测系统真空度,控制器必须在合适的真空度下电机才可以正常启动和运行。这样可以有效保障:可靠吸片并杜绝飞片事故的发生。
详情介绍:
一、产品简介:
本产品主要利用离心涂覆原理将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,该工艺在材料研究领域有着广泛的应用。
二、主要技术特点:
1、可对涂层表面进行恒温加热,加热范围:室温~200℃,控温精度0.1℃。
2、可以用于匀胶涂覆有机物,进行薄膜制备。
3、可以先进行匀胶,然后进行烤胶。
4、可存储多种不同基片的旋转涂敷工艺参数。每个涂敷工艺流程可以设置多步不同的旋转速度
5、匀胶机内安装有真空数字传感器,涂敷过程中可实时检测系统真空度,控制器必须在合适的真空度下电机才可以正常启动和运行。这样可以有效保障:可靠吸片并杜绝飞片事故的发生。
6、操作系统有中、英文相互切换供您选择。
7、工作腔体为 聚四氟(塑料王)材质,它是由四氟乙烯经聚合而成的高分子化合物,具有优良的化学稳定性和极强的耐腐蚀性,已广泛应用于各种需要抗酸碱和有机溶剂的场合。
三、主要技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:150W
基片尺寸:8英寸
可选择配置: 基片直径10—200mm可接受订货。
主机转数:0~10000 转/分。(空转)
设定时间:1---9999秒。
加热温度:室温~200℃
结构尺寸: 300mm宽 x 300mm深 x 200 mm高 ,
可选配件
1、CY-2Z真空泵
2、真空吸盘尺寸:直径10,20,25,50,75mm聚四氟乙烯吸盘。
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