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本型号匀胶机采用全铝合金腔体,外观美观坚固;腔体上盖则采用360°可视的有机玻璃设计,便于客户使用过程中监测匀胶情况。仪器采用先进的精密电机,转速可高达到10000转/分,有效的保障了成膜的均匀性。另外本仪器采用触控屏控制,可以预设匀胶曲线,大大简化了使用过程降低了学习成本,十分适合实验室选购。
旋转涂覆仪适用范围:
匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。
旋转涂覆仪技术参数:
项目
明细
旋涂仪
供电电压
AC220V,50Hz
转速
0~10000rpm
加速度
100~5000rpm/s
转速分辨率
1rpm
单步时间
3000s
基片尺寸
直径≤8英寸(200mm)
腔体材质
铝合金
操作方式
7寸高清LCD触控屏
滴胶方式
手动滴胶,可选购精密注射泵
匀胶曲线
每条曲线5段,共可储存5条曲线
抽气接口
φ6mm 快拧接口
整机尺寸
290mm × 365mm × 260mm
整机重量
10kg
排气系统
真空泵
干式机械泵
抽气速率
50L/min
供电电源
AC220V 50/60Hz
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