产品名称：实验型，研究型MPCVD

MPCVD适合的应用:

化学气相沉积法制备高品质单晶金刚石

化学气相沉积法制备高品质多晶金刚石自支撑厚膜

化学气相沉积法制备高品质多晶金刚石薄膜

化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石膜等各种碳纳米薄膜

MPCVD产品特点：

 本产品为不锈钢腔体式6kw微波等离子体设备，功率密度高；

水冷式基片台和水冷式金属反映腔，保证系统能长时间稳定工作；

基片温度以微波等离子体自加热方式达到；

真空测量仪表采用全量程真空计，可**测量本底真空和工作气体压强；

真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为1Pa)，系统可自动控制沉积气压；

配备冷却水循环系统，确保装置高功率下可长时间**稳定运行；

系统带15寸触摸屏，PLC自动控制，可设置温度或气压恒定，可保存复用多达20套工艺文件；

全自动工艺控制模块，可以稳定可靠地制备高品质金刚石薄膜和晶体

MPCVD技术指标与特性:

微波系统（法国Sairem 微波源）	微波频率	2450±25MHz
	输出功率	0.6kw~6kw 连续可调
	微波调谐	三销钉调配器，模式转换天线
	微波反射保护	环形器，水负载
	微波工作模式	TM013
	微波泄漏	≤ 2 mw/cm2
真空系统	工作气压范围	10~250Torr
	自动稳压范围	40~250Torr
	真空泵	4.4L/s 旋片式真空泵
	系统漏率	<1.0x10-9 Pa・m3 /秒 (通过氦质谱检漏仪检测)
	腔体保压能力	每24 小时压升小于0.2 乇
	本底极限真空	0.1Pa（7.5 x10-4 Torr)
	真空测量	品牌薄膜规
真空反应腔	反应腔材料及结构	双层水冷不锈钢反应腔
	真空密封	金属密封+氟胶圈密封(取样门)
	反应腔内径	直径140mm
	样品台窗口	105x50mm 长方形端口，带O 形氟橡胶圈密封的前门
	观察窗口	两个端口，CF35 大口径，180°分布
	测温窗口	两个窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便从反应腔上部的 斜角向下检测样品台的温度
样品台	电动升降式水冷基片台 直径100mm，高度可调范围0～70mm
	钼基片台直径≥50mm，在5000w, 180Torr 工作状态，等离子体火球可覆盖 整个基片台
	基片台温度 250～1400℃（取决于工艺参数）
气路	选用日本进口流量计及流量控制阀
	系统自带四路MFC
	四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm
测温系统	德国Raytek 红外测温系统，测温范围：300~1300 摄氏度
系统软件	配置PLC 控制的15“触摸显示屏，用户操作界面友好，所有操作均可在触摸 屏上完成
	系统支持工程师和操作员两个用户级别，提供用户权限管理功能
	系统自带缺水，缺气，电源缺相，火球跳变，过温过载，打火等自动保护
	可设置多达10 套工艺配方，每套配方有40 行数据，生产流程通过工艺配方自 动控制，工艺数据可通过U 盘备份导出
	系统自带全自动抽气，点火，升温，降温等预设流程，用户操作简便
	全自动温度控制，气压控制，极大减轻系统操作员的工作量

系统安装要求

由客户提供以下安装条件：

1. 气体连接

2. 电源

a) 供电电压：AC 380V(±10％)，频率50Hz，三相四线，室内具有独立的地线，

接地电阻效益4Ω，*大功率20kw

b) 建议每台设备在1 米之外的墙上预留单独的空气开关，空气开关规格：4P32A

带漏电保护。

c) 在进行任何连接之前，应关闭系统内配电子系统。

3. 冷却水

客户需自备工业冷水机：

a) 制冷能力：10kw

b) 流量：>30L/min

c) 建议进水温度：20℃，*高进水温度<25℃

d) 入口水压：≥5.0 kg/cm2 （或扬程>45 米）

e) 系统进水出水连接：φ19mm（宝塔接头）

f) 为了避免因腐蚀而出现问题，建议使用纯净水

4. 系统控制用压缩空气需求

a) 工作气路：用户需自备CH4, H2, N2, O2 四路气体，气体压力0.2MPa，气体纯

度由用户根据工艺需求自行确定

b) 气体接口：1/4”VCR 接口

深圳优普莱等离子体技术有限公司 www.uniplasma.com

UP-206 全自动微波等离子体系统产品规格书

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a) 压缩干空气（CDA）：系统需提供CDA 气路，气体压力≥0.4MPa。

b) 接口：φ8 快插接口（气动快插）

5. 设备排气

a) 客户需自备排气通道，设备的排气口通过KF25 接口连接到排气通道。

验收

1. 真空泄漏：真空腔漏率＜0.1Torr/12 小时

2. 微波泄漏：测量低于2mW/cm² （微波输出5kw 时）

3. 水管漏水：确认水管没有漏水

4. 系统测试：系统可正常启动和运行，等离子体火球均匀稳定

保修

3. 客户需自行保证气体、电力和水等公用设施的工程施工进度不影响设备的安装调试，

由此引起的延期不予延长保修期。