产品名称：CVD法培育钻石

人造钻石是一种由直径10到30纳米的钻石结晶聚合而成的多结晶钻石，等离子增强化学气象沉积PECVD合成法制造，人造钻石主要用于制造切割工具等工业用途上，同样也被使用在珠宝首饰上。

◆10 kW SAIREM微波发生器（开关电源）
◆2.45GHz磁控管微波频率
◆循环器和隔离器
◆自动操作的EH-tuning元件
等离子源
◆6"等离子源，激发频率2.45GHz
◆能够在低到高功率密度等离子体中工作
◆独特的高功率密度温度控制能力
◆气体从下侧进入腔室
◆偏置电极
基板支架
◆可更换基板支架：
◆冷却元件（约D75mm）
◆可更换支架板，便于清洁和维护
◆钼等离子接触件
◆生长过程中自动调整高度
小木屋
◆蛤壳式盖子，便于基板放置和清洁
◆水冷铝合金结构
气体管理系统
◆5条气体管线，包括5个质量流量控制器（根据要求添加）
◆MFC系统
◆压力控制器范围：100-300mbar
真空
◆涡轮分子泵+干式初级泵
CVD控制器
◆电脑控制器配方驱动操作
◆远程控制、检测、系统升级
◆基板摄像头（可选）
◆ 高温计范围：400-1700°C