产品名称：CVD法培育钻石

人造钻石是一种由直径10到30纳米的钻石结晶聚合而成的多结晶钻石，等离子增强化学气象沉积PECVD合成法制造，人造钻石主要用于制造切割工具等工业用途上，同样也被使用在珠宝首饰上。

技术参数：

微波源	10 kW SAIREM微波发生器 2.45GHz磁控管微波频率 循环器和隔离器 自动操作的EH-tuning元件
等离子源	◆6"等离子源，激发频率2.45GHz ◆能够在低到高功率密度等离子体中工作 ◆独特的高功率密度温度控制能力 ◆气体从下侧进入腔室 ◆偏置电极
基板支架	◆可更换基板支架： ◆冷却元件（约D75mm） ◆可更换支架板，便于清洁和维护 ◆钼等离子接触件 ◆生长过程中自动调整高度
小木屋	◆蛤壳式盖子，便于基板放置和清洁 ◆水冷铝合金结构 气体管理系统 ◆5条气体管线，包括5个质量流量控制器（根据要求添加） ◆MFC系统 ◆压力控制器范围：100-300mbar
真空	◆涡轮分子泵+干式初级泵
CVD控制器	◆电脑控制器配方驱动操作 ◆远程控制、检测、系统升级 ◆基板摄像头（可选） ◆ 高温计范围：400-1700°C