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热丝化学气相沉积产品特点:
本产品为双层不锈钢腔体式结构,结构紧凑合理;本产品分上台架和下台架两大部分,下台架除了用于支撑反应腔室,还布置气路阀门,水路管道以及各种控制元件。上台架布置显示面板,电源器件,合理屏蔽电路干扰;
本产品**分散冷却水道布局(腔体上盖,腔体主体上下层和底板,以及热丝弹力装置等地方)。水泵,水管,智能监控流量计,水路歧管等,均为封闭式循环系统。
本产品气路组合主要由工艺气体供给系统以及真空系统,气路管道的合理分布,有效利用可使用的空间,气体流量,压力的实时监测及**控制。
本产品选用双基片式真空泵,抽气速度稳定在65m3/h.极限优良真空全压为0.5Pa,防护的等级为IP54.
热丝化学气相沉积技术指标与特性:
真空腔室 |
结构:圆筒形+上盖 材质:304上等不锈钢 腔体尺寸:Φ640x320mm |
电源: |
AC220V /三相380V 30KW |
控温 |
低压和大电流直流电源,热丝温度*高可达2500°C。 沉积基体表面:600℃左右 腔体壁温度: <60℃ 控温精度:0.1℃ |
测温系统 |
远红外光学测温+热电偶监测 |
热丝装置: |
恒定张力阵列几何形状,钼丝,铜馈通,钨丝结合处理,方便调整与维护 |
观察窗 |
主观察窗φ190mm 辅观察窗φ45mm |
水路系统 |
水冷电极、水冷腔体、水冷热丝辅助部件 总水管接口尺寸 40mm 冷却水流量:60L/MIN |
真空系统 |
双基旋片泵+高真空阀门组合(**阀,流量感应器,调节阀……) ,数显复合真空计, *大抽气速度:65 m3/h 设备保压:停泵 12 小时候后,真空≤10Pa; 抽气接口 CF40 排气接口KF16
|
操作系统: |
PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统; |
**系统 |
报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善 的逻辑程序互锁保护系统; |
占地尺寸 |
(主机)L1800×W1150×H1550(mm)。 |
整机重量 |
600kg |